[发明专利]连线装置及应用其的OLED生产线

说明书

技术领域

本发明涉及OLED制造领域，具体涉及一种连线装置及应用其的OLED生产线。

背景技术

真空蒸镀是有机发光二极管（Organic Light-Emitting Diode，以下简称OLED）器件制备过程的主要方法之一，其基本原理是在高真空环境中，将蒸发材料加热至蒸发温度进行蒸发之后再冷凝在镀膜基体上形成薄膜。随着OLED产业的不断发展，相关生产企业的竞争越来越激烈，降低成本、提高生产效率则是提高企业竞争力的常用手段。例如，为了提高生产效率，降低产品成本，通常采用由多台全自动的真空镀膜设备构成的生产线进行大批量加工，以应对日益增加的市场需求。

在目前的OLED生产线中，通常是每台真空蒸镀设备每道工序仅蒸镀一个膜层，而且，由于在不同真空蒸镀设备之间转移工件都必须在真空或高纯氮气的保护下实施，因而上述真空蒸镀设备生产线需采用整体、连续的线性方式进行真空高纯氮气保护，这使得该生产线的占地空间较大、配套厂房及相关设施的成本较高。例如，一条蒸镀尺寸为470*370mm的工件、生产速度为每分钟完成2片的真空蒸镀设备生产线，其总长度达50m以上，这就要求容纳该生产线的厂房的层高不低于5m，且还需对厂房下挖1m，以预埋各种管道。

而且，OLED的膜层通常具有有机膜层、无机膜层以及层间掺杂层等的共计18层以上膜层，而且在上述真空蒸镀设备生产线中，每台真空蒸镀设备每道工序仅蒸镀一种膜层，且每道工序均需进行一次抽真空过程，即：在工件进入真空腔室之前向真空腔室充入保护性气体；在工件进入真空腔室之后对真空腔室抽真空；对工件进行蒸镀工艺。上述抽真空过程占据了整个蒸镀工艺的大部分时间，从而上述蒸镀设备生产线的生产效率较低。

为此，申请号为“201310209692.6”、发明名称为“一种具有双旋转机构的OLED镀膜机”的中国专利申请中公开了一种真空蒸镀设备，其包括机架、真空室、多个钼舟、动力系统、钼舟通电加热系统以及仪表柜。该镀膜机通过在真空室内设计工件双旋转机构支架，充分扩大了工件装夹面积，从而不仅可以实现每道工序同时对多个工件进行蒸镀，而且还可以提高镀膜材料的利用率。

利用上述OLED镀膜机的优势，可以采用“分堆式”生产线代替现有技术中所采用的整体、连续的线性生产线，顾名思义，“分堆式”生产线是将OLED的多层膜层遵循蒸镀工序的先后顺序进行分配而形成若干个膜层堆，每层膜层堆借助两台上述OLED镀膜机蒸镀该膜层堆被分配到的膜层，每台OLED镀膜机每道工序可同时对多个工件蒸镀多层膜层，由此，只要能够有一种在同一或不同膜堆的两台真空镀膜设备之间传输和装卸工件的连线装置，就可以使多个工件同时完成所有膜层的蒸镀，从而实现“分堆式”连续制造OLED的生产线，即，不再像现有技术的生产线所采用的多个工件逐一完成所有的蒸镀工序，而是一定数量的工件同时完成所有的蒸镀工序。

此外，除了要求上述连线装置能够在同一或不同膜堆的两台真空镀膜设备之间传输和装卸工件之外，还要求连线装置能够同时传输多个工件，以能够装载单台真空镀膜设备单次蒸镀的所有工件，而且，由于在不同真空蒸镀设备之间转移工件都必须在真空或高纯氮气的保护下实施，因而还要求连线装置能够在真空或高纯氮气的保护下实现对多个工件的传输和装卸。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种连线装置及应用其的OLED生产线，其可以在真空或高纯氮气的保护下，实现对多个工件的传输和装卸。

为实现本发明的目的而提供一种连线装置，用于向真空镀膜设备的真空腔室传输和装卸工件，其包括机架、箱体舱和工作舱，其中所述机架的底部具有多个移动轮；所述箱体舱固定在所述机架上，在所述箱体舱内设置有旋转轴和与之连接的用于承载工件的至少两个工件框架，所述旋转轴在旋转时带动所述至少两个工件框架沿所述旋转轴的周向旋转，以使所述至少两个工件框架逐一经过与所述工作舱相对应的位置处；所述工作舱固定在所述机架上，所述工作舱具有第一密封机构和第二密封机构，所述工作舱通过所述第一密封机构与所述箱体舱连通或隔离，以及通过所述第二密封机构与所述真空镀膜设备的真空腔室对接或脱离。

其中，每个工件框架具有沿竖直方向间隔设置的锁紧装置，每个锁紧装置包括一对支撑件和四个弹性凹形件，其中，所述一对支撑件彼此相对地分别设置在所述工件框架内的两个侧壁上；所述四个弹性凹形件分别包覆一个工件的四个角，并由该对支撑件夹持固定在中间。