[发明专利]金属微米亚微米管阵列的制备方法无效
| 申请号： | 201310562970.6 | 申请日： | 2013-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN103569935A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 卢明辉 | 申请（专利权）人： | 无锡英普林纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B1/00 | 分类号： | B81B1/00;B81C3/00 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 李媛媛 |
| 地址： | 214192 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属 微米 阵列 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.金属微米亚微米管阵列的制备方法，其特征是，所述方法包括以下步骤：
（1）根据专利ZL200710134575.2的方法获得松香填充石英纤维空隙的复合结构；
（2）将上述结构置于HF酸溶液中腐蚀去除石英纤维，形成存在中空微管结构阵列的松香微结构；
（3）在上述中空微管结构阵列的微管侧壁沉积金属薄膜；
（4）去除松香，获得金属的微米/亚微米管阵列结构。
2.根据权利要求1所述的金属微米亚微米管阵列的制备方法，其特征在于，步骤（3）中，所述沉积金属薄膜采用化学镀、电镀或原子层沉积方法。
3.根据权利要求1或2所述的金属微米亚微米管阵列的制备方法，其特征在于，步骤（3）中，所述金属薄膜的材料为金、铂、银、镍、铜或以上任意组合。
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