[发明专利]金属微米亚微米管阵列的制备方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种亚微米和微米微结构材料的制备方法，特别是一种金属微米/亚微米管阵列结构的制备技术。

背景技术

金属微米/亚微米管阵列结构具有广泛的应用。例如，其独特的结构可以在内部形成很强的磁场；电磁波与其相互作用可激发surface plasma；同时其具有良好的导电性。因此，其在光电、传感、催化等领域具有广泛的应用。但金属微米/亚微米管阵列结构的制备相对于氧化物材料更难以制备。

发明内容

本发明的目的是提供一种制备成本低的金属微米亚微米管阵列的制备方法。

为了实现上述发明目的，本发明采用的技术方案如下：

金属微米亚微米管阵列的制备方法的制备方法，包括以下步骤：

（1）根据专利ZL200710134575.2的方法获得松香填充石英纤维空隙的复合结构；

（2）将上述结构置于HF酸溶液中腐蚀去除石英纤维，形成存在中空微管结构阵列的松香微结构；

（3）在上述中空微管结构阵列的微管侧壁采用化学镀、电镀、原子层沉积等方法沉积金、铂、银、镍、铜等或其任意组合的金属薄膜；

（4）去除松香，获得金属的微米/亚微米管阵列结构。

本发明与现有技术相比，其显著优点是成本低廉，无需大型仪器，工艺简单可靠。本发明方法新颖，获得的微结构可在光电等领域获得应用。

附图说明

图1是金属微米亚微米管阵列的制备方法的示意图。步骤A为将松香填充石英纤维空隙的复合结构HF酸腐蚀去除石英纤维；步骤B为在所得中空微管阵列的侧壁沉积金属；步骤C为去除松香，获得金属的微米/亚微米管阵列结构。

具体实施方式

下面对本发明作进一步详细的描述。

实施例中松香填充石英纤维空隙的复合结构根据专利ZL200710134575.2的方法获得。

实施例1：将松香填充石英纤维空隙的复合结构置于HF酸溶液中腐蚀去除石英纤维，形成存在中空微管结构阵列的松香微结构；在上述中空微管结构阵列微管的侧壁采用化学镀方法沉积金薄膜；去除松香，获得金微米/亚微米管阵列结构。

实施例2：将松香填充石英纤维空隙的复合结构置于HF酸溶液中腐蚀去除石英纤维，形成存在中空微管结构阵列的松香微结构；在上述中空微管结构阵列微管的侧壁采用电镀方法沉积镍金属薄膜；去除松香，获得镍的微米/亚微米管阵列结构。

实施例3：将松香填充石英纤维空隙的复合结构置于HF酸溶液中腐蚀去除石英纤维，形成存在中空微管结构阵列的松香微结构；在上述中空微管结构阵列微管的侧壁采用原子层沉积等方法沉积铂金属薄膜；去除松香，获得铂微米/亚微米管阵列结构。

实施例4：将松香填充石英纤维空隙的复合结构置于HF酸溶液中腐蚀去除石英纤维，形成存在中空微管结构阵列的松香微结构；在上述中空微管结构阵列微管的侧壁采用电镀方法沉积铜金属薄膜；去除松香，获得铜微米/亚微米管阵列结构。

实施例5：将松香填充石英纤维空隙的复合结构置于HF酸溶液中腐蚀去除石英纤维，形成存在中空微管结构阵列的松香微结构；在上述中空微管结构阵列微管的侧壁采用化学镀沉积镍、铜金属薄膜；去除松香，获得镍铜微米/亚微米管阵列结构。