[发明专利]一种异质多层坩埚有效

专利信息
申请号: 201310567558.3 申请日: 2013-11-14
公开(公告)号: CN103673601A 公开(公告)日: 2014-03-26
发明(设计)人: 赵登永;陈钢强;王光杰;彭家斌;陆永波 申请(专利权)人: 江苏博迁新材料有限公司
主分类号: F27B14/10 分类号: F27B14/10;B01L3/04
代理公司: 徐州支点知识产权代理事务所(普通合伙) 32244 代理人: 张荣亮
地址: 223800 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 多层 坩埚
【权利要求书】:

1.一种异质多层坩埚,其特征在于,所述异质多层坩埚包括多个不同材质的坩埚层,相邻两个坩埚层之间为填砂层。

2.根据权利要求1所述的一种异质多层坩埚,其特征在于,所述异质多层坩埚包括第一坩埚层(1),第二坩埚层(3)及第三坩埚层(5),所述第一坩埚层(1)与第二坩埚层(3)之间为填砂层Ⅰ(2),所述第二坩埚层(3)与第三坩埚层(5)之间为填砂层Ⅱ(4)。

3.根据权利要求2所述的一种异质多层坩埚,其特征在于,所述填砂层Ⅰ(2)和填砂层Ⅱ(4)的材质是相同的。

4.根据权利要求2或3所述的一种异质多层坩埚,其特征在于,所述第一坩埚层(1)和第二坩埚层(3)的材质是相同的。

5.根据权利要求2或3所述的一种异质多层坩埚,其特征在于,所述第三坩埚层(5)为石墨层。

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