[发明专利]自动光学检测方法及设备有效
申请号: | 201310573849.3 | 申请日: | 2013-11-14 |
公开(公告)号: | CN103558224A | 公开(公告)日: | 2014-02-05 |
发明(设计)人: | 葛永利;齐勤瑞 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 自动 光学 检测 方法 设备 | ||
1.一种自动光学检测方法,其特征在于,包括:
在待检测基板上形成动态光强标记,所述动态光强标记包括样品标记部分和基准标记部分;
根据所述动态光强标记的图像信息获取检测光强,所述检测光强为使得所述基准标记部分最明显的光强;
利用所述检测光强对所述待检测基板进行检测。
2.根据权利要求1所述的自动光学检测方法,其特征在于,
所述样品标记部分包括第一彩色滤色层和第一遮光层;
所述基准标记部分包括第二遮光层。
3.根据权利要求1或2所述的自动光学检测方法,其特征在于,所述动态光强标记的图像信息包括所述动态光强标记的像素值。
4.根据权利要求3所述的自动光学检测方法,其特征在于,所述根据所述动态光强标记的图像信息获取检测光强,所述检测光强为使得所述基准标记部分最明显的光强包括:连续调节光强,直至获取使得所述基准标记部分的像素值最大的对应光强作为检测光强。
5.根据权利要求1所述的自动光学检测方法,其特征在于,所述在待检测基板上形成动态光强标记包括:在所述待检测基板的非显示区域上形成动态光强标记,所述非显示区域在后期制作过程中被去除。
6.一种自动光学检测设备,其特征在于,包括:
图像信息获取模块,所述图像信息获取模块用于获取待检测基板的动态光强标记的图像信息,其中,所述动态光强标记包括样品标记部分和基准标记部分;
检测光强获取模块,所述检测光强获取模块用于根据所述动态光强标记的图像信息获取检测光强,所述检测光强为使得所述基准标记部分最明显的光强。
7.根据权利要求6所述的自动光学检测设备,其特征在于,所述图像信息获取模块包括光电耦合元件。
8.根据权利要求6所述的自动光学检测设备,其特征在于,所述检测光强获取模块包括光强自动调整元件,所述光强自动调整元件用于实现光源的光强的连续变化。
9.根据权利要求6所述的自动光学检测设备,其特征在于,所述动态光强标记的图像信息包括所述动态光强标记的像素值。
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