[发明专利]自动光学检测方法及设备有效
申请号: | 201310573849.3 | 申请日: | 2013-11-14 |
公开(公告)号: | CN103558224A | 公开(公告)日: | 2014-02-05 |
发明(设计)人: | 葛永利;齐勤瑞 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 自动 光学 检测 方法 设备 | ||
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种自动光学检测方法及设备。
背景技术
自动光学检测方法是利用光学方式获得待检测基板的表面状态,通过影像处理来检出异物或者图像异常等缺陷的一种检测方法。自动光学检测设备主要包括光源和电荷耦合元件(Charge-coupled Device,简称CCD)等多个结构。使用自动光学检测设备进行自动光学检测时,使用光源对待检测基板照射,通过CCD扫描待检测基板,获得待检测基板的图像信息,将待检测基板的图像信息与合格基板的图像信息进行比较,从而分析待检测基板上是否存在缺陷。
发明人发现,现有技术中,在自动光学检测过程中,当光源使用时间较长,光强发生变化时,或者待检测基板的材料规格等发生变化时,容易出现光强和待检测基板不适应的情况,从而影响检测结果的准确性。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于提供一种自动光学检测方法及设备,能够在自动光学检测过程中,避免出现光强和待检测基板不适应的情况,从而保证自动检测结果的准确性。
为解决上述技术问题,本发明实施例提供了一种自动光学检测方法,该自动光学检测方法采用如下技术方案:
所述自动光学检测方法,包括:
在待检测基板上形成动态光强标记,所述动态光强标记包括样品标记部分和基准标记部分;
根据所述动态光强标记的图像信息获取检测光强,所述检测光强为使得所述基准标记部分最明显的光强;
利用所述检测光强对所述待检测基板进行检测。
所述样品标记部分包括第一彩色滤色层和第一遮光层;
所述基准标记部分包括第二遮光层。
所述动态光强标记的图像信息包括所述动态光强标记的像素值。
所述根据所述动态光强标记的图像信息获取检测光强,所述检测光强为使得所述基准标记部分最明显的光强包括:连续调节光强,直至获取使得所述基准标记部分的像素值最大的对应光强作为检测光强。
所述在待检测基板上形成动态光强标记包括:在所述待检测基板的非显示区域上形成动态光强标记,所述非显示区域在后期制作过程中被去除。
本发明实施例提供了一种如上所述的自动光学检测方法,该自动光学检测方法在对待检测基板进行检测之前,首先利用动态光强标记获取检测光强,然后使用检测光强对待检测基板进行检测。当光源使用时间较长,光强发生变化时,或者待检测基板的材料规格等发生变化时,通过对待检测基板检测之前获得检测光强的方法,有效地保证了光强和待检测基板相适应,从而能够提高测试结果的准确性。
为了进一步解决上述技术问题,本发明实施例还提供了一种自动光学检测设备,所述自动光学检测设备包括:
图像信息获取模块,所述图像信息获取模块用于获取待检测基板的动态光强标记的图像信息,其中,所述动态光强标记包括样品标记部分和基准标记部分;
检测光强获取模块,所述检测光强获取模块用于根据所述动态光强标记的图像信息获取检测光强,所述检测光强为使得所述基准标记部分最明显的光强。
所述图像信息获取模块包括光电耦合元件。
所述检测光强获取模块包括光强自动调整元件,所述光强自动调整元件用于实现光源的光强的连续变化。
所述动态光强标记的图像信息包括所述动态光强标记的像素值。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的一种自动光学检测方法流程图;
图2为本发明实施例提供的动态光强标记的示意图;
图3为本发明实施例提供的动态光强标记在待检测基板上的分布示意图;
图4为本发明实施例提供的一种动态光强标记制作流程图;
图5为本发明实施例提供的图2所示的动态光强标记沿A-A’方向的截面图;
图6为本发明实施例提供的另一种动态光强标记制作流程图;
图7为本发明实施例提供的阵列基板的示意图;
图8为本发明实施例提供的图7所示的阵列基板沿A-A’方向的截面图;
图9为本发明实施例提供的光强大小与像素值的关系示意图;
图10为本发明实施例提供的自动光学检测设备示意图。
附图标记说明:
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