[发明专利]金属线路结构、形成方法,及用以形成其的液态触发材料有效

专利信息
申请号: 201310595165.3 申请日: 2013-11-22
公开(公告)号: CN104616720B 公开(公告)日: 2018-05-04
发明(设计)人: 高端环;黄萌祺;周敏杰 申请(专利权)人: 财团法人工业技术研究院
主分类号: H01B1/22 分类号: H01B1/22;H01B13/00;H05K1/09
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司11021 代理人: 曹玲柱
地址: 中国台*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 金属 线路 结构 形成 方法 用以 液态 触发 材料
【权利要求书】:

1.一种用以形成金属线路的液态触发材料,其特征在于,适于加热而固化,该液态触发材料包括:

一绝缘胶体,为高分子材料;以及

多个触发粒子,包括以铜、银、钯为金属的有机金属粒子,该些触发粒子可受一第一波长的激光照射活化,该些有机金属粒子的结构为R-M-R或R-M-X,其中M为金属,R为烷基、芳香烃、环烷、卤烷、杂环或羧酸,X为卤素化合物或胺类;

其中,该些触发粒子散布于该绝缘胶体中,使该触发材料的黏度小于10000厘泊,且该液态触发材料在固化后的介电常数介于2-6.5之间。

2.根据权利要求1所述的液态触发材料,其中该第一波长为400-1200纳米。

3.根据权利要求1所述的液态触发材料,其中该些触发粒子占该触发材料0.1-30重量百分比。

4.一种用以形成金属线路的液态触发材料,其特征在于,适于加热而固化,该液态触发材料包括:

一绝缘胶体,为高分子材料;以及

多个触发粒子,包括由一螯合剂螯合一金属所组成金属螯合物,该螯合剂为吡咯烷二硫代氨基甲酸铵、乙二胺四乙酸、N,N’-双(羧基甲基)甘氨酸氨三乙酸或二乙烯三胺五乙酸至少其中之一,该些触发粒子可受一第一波长的激光照射活化;

其中,该些触发粒子散布于该绝缘胶体中,使该触发材料的黏度小于10000厘泊,且该液态触发材料在固化后的介电常数介于2-6.5之间。

5.根据权利要求4所述的液态触发材料,其中该金属选自由金、银、铜、锡、铝、镍及钯其一或其所组成的群组。

6.根据权利要求1或4所述的液态触发材料,还包括一光起始剂,该光起始剂混合在该绝缘胶体中,且可以一第二波长的激光固化,该光起始剂占该触发材料的0.1-10重量百分比。

7.根据权利要求6所述的液态触发材料,其中该第二波长的范围介于300-500纳米。

8.根据权利要求1或4所述的液态触发材料,其特征在于,还包括一色料,该色料散布在该绝缘胶体中,且该色料占该触发材料的3-30重量百分比。

9.一种形成金属线路的方法,其特征在于,包括:

提供一基材;

在该基材上形成一第一触发层,该第一触发层由权利要求1或4的液态触发材料固化而成;

以该第一波长的激光在该第一触发层上烧蚀一第一线路图案,使该第一线路图案暴露并活化部分的该些触发粒子;以及

以无电镀法在该第一线路图案上沉积金属材料,形成一第一金属线路层。

10.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,还包括:

形成一第二触发层覆盖该第一触发层及该第一金属线路层;

以该第一波长的激光在该第二触发层上形成一第二线路图案;以及

以无电镀法在该第二线路图案上沉积金属材料,形成一第二金属线路层,使该基材上具有多层金属线路,

其中该第二触发层由该液态触发材料固化而成。

11.根据权利要求9所述的方法,其中当该液态触发材料包括一光起始剂时,先以一第二波长激光固化该光起始剂,再以该第一波长的激光活化该些触发粒子;以及

去除该第一触发层未被激光照射的部分。

12.一种金属线路结构,其特征在于,包括:

一基材;

一第一触发层,位于该基材上且包括一第一线路图案;以及

一第一金属线路层,位于该第一线路图案上,该第一金属线路层与该基材电性绝缘,

其中,该第一触发层的成份包括一绝缘胶体及多个触发粒子,该些触发粒子包括以铜、银、钯为金属的有机金属粒子,该些有机金属粒子的结构为R-M-R或R-M-X,其中M为金属,R为烷基、芳香烃、环烷、卤烷、杂环或羧酸,X为卤素化合物或胺类,且该些触发粒子散布于该绝缘胶体中,使该第一触发层的介电常数介于2-6.5之间。

13.根据权利要求12所述的金属线路结构,其特征在于,还包括

一第二触发层,具有一第二线路图案且覆盖该第一触发层及该第一金属线路层;以及

一第二金属线路层,位于该第二线路图案上,

其中,该第二触发层的材料与该第一触发层的材料相同。

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