[发明专利]一种有机材料加热蒸镀源

权利要求书

1.一种有机材料加热蒸镀源，包括一蒸镀腔室以及设于所述蒸镀腔室内的坩埚与加热器，其特征在于：所述加热器包括一条加热线，所述加热线分布于所述坩埚的外围，并且所述加热线在所述坩埚上部位置的分布密度大于在所述坩埚中间及下部位置的分布密度。

2.如权利要求1所述的蒸镀源，其特征在于：所述加热器还包括一保温层和复数热解氮化硼环，所述保温层套设于所述坩埚外，所述保温层的内壁设有复数环沟槽，所述热解氮化硼环分别固定于所述沟槽内，且所述热解氮化硼环对应所述加热线的分布位置开设有小孔，所述加热线穿设于所述小孔内进而固定于所述热解氮化硼环。

3.如权利要求2所述的蒸镀源，其特征在于：所述蒸镀腔室设有一用于隔绝外界大气的真空法兰，所述加热器通过一加热器固定座固定于所述真空法兰。

4.如权利要求3所述的蒸镀源，其特征在于：所述坩埚的底部设有一温度侦测机构，所述温度侦测机构包括：

一热电偶固定座，位于所述坩埚的下方且固定于所述加热器固定座；

一绝缘陶瓷棒，活动插设于所述热电偶固定座，所述绝缘陶瓷棒的中部设有一抵靠部，且所述抵靠部与所述热电偶固定座之间设置有一复位弹簧；

一热电偶，所述热电偶设置于所述绝缘陶瓷棒的顶端且抵靠于所述坩埚。

5.如权利要求4所述的蒸镀源，其特征在于：所述坩埚的底部设有一凹槽，所述热电偶伸入所述凹槽内。

6.如权利要求5所述的蒸镀源，其特征在于：所述加热器包括一加热器电极，所述加热器电极的第一端连接所述加热线，所述加热器电极的第二端贯穿所述真空法兰连结外部电源。

7.如权利要求6所述的蒸镀源，其特征在于：所述温度侦测机构包括一热电偶电极，所述热电偶电极的第一端连接所述热电偶，所述热电偶电极的第二端贯穿所述真空法兰连结外部温度监控装置。