[发明专利]一种有机材料加热蒸镀源

说明书

技术领域

本发明涉及一种AMOLED显示屏的制作工艺，尤其涉及一种具有稳定的蒸发速率的有机材料加热蒸镀源。

背景技术

现今大多有机材料加热蒸镀源仅配置一组加热器22，如图1所示，由于坩埚21的顶端具有开口，因此容易散热，导致蒸镀材料容易在坩埚21顶端凝结，坩埚21顶端凝结的材料会挡住坩埚21底端蒸发的材料的蒸镀路径，使蒸镀速度不稳定，时间久后整个坩埚口将完全堵住，使蒸镀无法继续。

理想的真空蒸镀源需要有稳定的蒸发速率，如此才可以使用共蒸镀的手法，制备出特定组成的OLED器件，完成AMOLED显示屏的制作。现在绝大多数的有机蒸发源，在蒸镀的控制上使用自动PID（比例-积分-微分）控制器，当材料在坩埚口凝结将使蒸发速率（Evaporation rate）降低，此时蒸镀源将会提高加热器温度，坩锅底端将会有更多的材料蒸发，但也造成更多的材料凝结于坩埚口，最终完全堵塞后就没了蒸镀速率。但是蒸镀源加热器仍持续增加温度，坩埚内将在一个封闭的空间空烧，可能导致材料烧毁变质。直到加热器升温至相当高的温度，使凝结在坩埚口的材料也蒸发，此时才会再度出现蒸镀速率，但是由于加热器相当高温，因此蒸镀速率也很高，不符合所需。

上诉此种蒸镀源在长时间操作下，蒸镀速率忽高忽低不稳定，不适合量产条件。

现今量产使用可稳定蒸镀速率的蒸发源，通常有配置一个以上的加热器，如图2所示，第一组加热器321控制坩埚31上部，第二组加热器322控制坩埚31中间及下部，通过设定加热器321和322的温度，让第一组的加热器321比第二组的加热器322维持较高的温度，使材料不在坩埚31上缘凝结。多个加热器的蒸镀源虽解决了材料凝结阻塞问题，但是需要倍数的成本备置更多加热器系统，特别是执行AMOLED面板生产时，需要几十个有机加热蒸镀源，如此需耗费大量的设备成本。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种能够使用一组加热器，在坩埚上缘仍可保持高温状态，使材料不在坩埚上缘凝结，不但解决了材料凝结阻塞问题，又不另外增加成本的有机材料加热蒸镀源。

为实现上述技术效果，本发明公开了一种有机材料加热蒸镀源，包括一蒸镀腔室以及设于所述蒸镀腔室内的坩埚与加热器，所述加热器包括一条加热线，所述加热线分布于所述坩埚的外围，并且所述加热线在所述坩埚上部位置的分布密度大于在所述坩埚中间及下部位置的分布密度。

本发明由于采用了以上技术方案，使其具有以下有益效果是：使用一组加热器，分成两个加热区块，在坩埚中间及下缘的位置加热线排列较宽松，而坩埚上缘位置加热线排列较紧密，透过两者间不同的排列方式让坩埚上缘得到比较高的温度，让坩埚上缘的温度高于坩埚底部使材料，使材料不在坩埚上缘凝结，解决了材料凝结阻塞问题。而且也因为仅需要使用一条加热线，因此仅需一组加热器即可实现，成本较低。

本发明进一步的改进在于，所述加热器还包括一保温层，用于维持加热线温度、避免热丧失，和复数热解氮化硼环，所述保温层套设于所述坩埚外，所述保温层的内壁设有复数环沟槽，所述热解氮化硼环分别固定于所述沟槽内，且所述热解氮化硼环对应所述加热线的分布位置开设有小孔，所述加热线穿设于所述小孔内进而固定于所述热解氮化硼环。

本发明进一步的改进在于，所述蒸镀腔室设有一用于隔绝外界大气的真空法兰，所述加热器通过一加热器固定座固定于所述真空法兰。

本发明进一步的改进在于，所述坩埚的底部设有一温度侦测机构，用于侦测所述坩埚实际的温度，所述温度侦测机构包括：

一热电偶固定座，位于所述坩埚的下方且固定于所述加热器固定座；

一绝缘陶瓷棒，活动插设于所述热电偶固定座，所述绝缘陶瓷棒的中部设有一抵靠部，且所述抵靠部与所述热电偶固定座之间设置有一复位弹簧；

一热电偶，所述热电偶设置于所述绝缘陶瓷棒的顶端且抵靠于所述坩埚。

当热电偶顶端被坩埚底部压住时，热电偶、绝缘陶瓷棒及热电偶固定座会往下连动，可保证热电偶碰触到坩埚底部，侦测坩埚实际的温度。

当坩埚取走时热电偶、绝缘陶瓷棒及热电偶固定座右回到原先位置，可避免热电偶被加热线影响，确保准确地侦测坩埚的实际温度。

本发明进一步的改进在于，所述坩埚的底部设有一凹槽，所述热电偶伸入所述凹槽内。确保每次坩埚放入时皆侦测相同坩埚位置温度。

本发明进一步的改进在于，所述加热线采用高融点金属材质制成。