[发明专利]引线键合装置用清洗套件、装置以及毛细管清洗方法

权利要求书

1.一种引线键合装置用清洗套件，用于固定引线键合对象物，以固定的方式安装于具有孔的窗口夹板来使用，或以装拆的形态使用，其特征在于，包括：

振动生成板，放置于窗口夹板上；以及

研磨片，附着于上述振动生成板上，并与上述振动生成板联动。

2.根据权利要求1所述的引线键合装置用清洗套件，其特征在于，上述引线键合装置用清洗套件或者附着于上述窗口夹板的一侧边缘，或者分别附着于上述窗口夹板的两侧边缘。

3.根据权利要求1所述的引线键合装置用清洗套件，其特征在于，上述振动生成板包括：

外壳，上侧开放；

电磁力生成器，向上述外壳的内部插入，接收电源来生成电磁力；

振子，在上述电磁力的作用下振动；以及

振动传递板，盖住上述外壳的上侧，向外部传递来自上述振子的振动。

4.根据权利要求3所述的引线键合装置用清洗套件，其特征在于，上述电磁力生成器包括：

线圈，接收上述电源来使电流流动；以及

磁性体，与上述电流发生相互作用来生成引力或斥力。

5.根据权利要求1所述的引线键合装置用清洗套件，其特征在于，上述振动生成板包括：

振动传递板，放置于上述窗口夹板上；

外壳，安装于与上述窗口夹板隔开的一侧，并具有盒状；

电磁力生成器，向上述外壳的内部插入，接收电源来生成电磁力；

振子，在上述电磁力的作用下振动；以及

振动连接线，向上述振动传递板传递来自上述振子的振动。

6.根据权利要求1所述的引线键合装置用清洗套件，其特征在于，上述振动生成板包括：

外壳，上侧开放；

超声波振动元件，向上述外壳的内部插入，接收电源来生成超声波振动；以及

振动传递板，盖住上述外壳的上侧，向外部传递上述超声波振动元件的振动。

7.根据权利要求1所述的引线键合装置用清洗套件，其特征在于，上述研磨片包括基材膜和研磨粒子，上述研磨粒子向上述基材膜内插入。

8.根据权利要求7所述的引线键合装置用清洗套件，其特征在于，上述研磨粒子包含选自SiC、Al₂O₃、Cr₂O₃、Fe₂O₃、ZrO₂、CeO₂、SiO₂及BaCO₃中的一种以上。

9.根据权利要求7所述的引线键合装置用清洗套件，其特征在于，上述研磨粒子的直径为5～10μm。

10.根据权利要求1所述的引线键合装置用清洗套件，其特征在于，上述引线键合装置用清洗套件还包括冲击吸收层，上述冲击吸收层附着于上述振动生成板的下部，用于防止上述振动生成板与上述窗口夹板之间的物理冲击。

11.根据权利要求10所述的引线键合装置用清洗套件，其特征在于，上述冲击吸收层由选自聚氨基甲酸酯、弹性橡胶、硅酮及海绵中的一种材质形成，并具有10～50mm的厚度。

12.一种引线键合装置，其特征在于，包括：

毛细管，使金属线通过；

键合臂，用于固定上述毛细管，并控制上述毛细管的上下及左右往复运动；

加热块，安装于上述毛细管及键合臂的下部；

窗口夹板，配置于上述加热块上，用于对引线键合对象物进行固定，并具有多个孔；以及

清洗套件，具有振动生成板和研磨片，上述振动生成板放置于上述窗口夹板上，上述研磨片附着于上述振动生成板上，并与上述振动生成板联动。

13.根据权利要求12所述的引线键合装置，其特征在于，上述清洗套件还包括冲击吸收层，上述冲击吸收层附着于上述窗口夹板与上述振动生成板之间。

14.根据权利要求13所述的引线键合装置，其特征在于，上述冲击吸收层具有10～50mm的厚度，并由选自聚氨基甲酸酯、弹性橡胶、硅酮及海绵中的一种材质形成。