[发明专利]基板层激光开孔方法及应用于该方法的基板无效
申请号: | 201310601711.X | 申请日: | 2013-11-25 |
公开(公告)号: | CN103659000A | 公开(公告)日: | 2014-03-26 |
发明(设计)人: | 彭栋纯;吕鹏;武金柱;朱小磊;孙连顺 | 申请(专利权)人: | 昆山鼎鑫电子有限公司 |
主分类号: | B23K26/382 | 分类号: | B23K26/382;B23K26/60;H01L21/768 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 郑玮 |
地址: | 215316 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基板层 激光 方法 应用于 | ||
1.一种基板层激光开孔方法,其特征在于,其步骤包括:
S1:将基板进行黑氧化处理;
S2:对基板进行激光钻孔。
2.如权利要求1所述的基板层激光开孔方法,其特征在于,所述基板包括上层铜箔和底层铜箔,所述上层铜箔和底层铜箔之间设有有机介层,所述上层铜箔的厚度小于所述底层铜箔的厚度。
3.如权利要求2所述的基板层激光开孔方法,其特征在于,在S2步骤中,以所述上层铜箔为入射面对基板进行激光钻孔。
4.如权利要求2或3所述的基板层激光开孔方法,其特征在于,所述上层铜箔的厚度在12微米以下,所述底层铜箔的厚度在17微米以上。
5.一种用于权利要求1所述的基板层激光开孔方法的基板,其特征在于,所述基板包括上层铜箔和底层铜箔,所述上层铜箔和底层铜箔之间设有有机介层,所述上层铜箔的厚度小于所述底层铜箔的厚度。
6.如权利要求5所述的基板,其特征在于,所述上层铜箔的厚度在12微米以下,所述底层铜箔的厚度在17微米以上。
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