[发明专利]沉积源运送装置

权利要求书

1.一种沉积源运送装置，包括：

导轨，沿一方向延伸而形成，并具有形成磁力的第一悬浮部件；

支撑部件，被配置在所述导轨上，并具有与所述第一悬浮部件相对的第二悬浮部件；以及

沉积源框架，安装在所述支撑部件上，

在所述导轨和所述支撑部件之间设置有缓冲部件。

2.根据权利要求1所述的沉积源运送装置，

所述第一悬浮部件及所述第二悬浮部件由永久磁铁形成，所述第一悬浮部件及所述第二悬浮部件以相同的极性相互面对的方式配置。

3.根据权利要求2所述的沉积源运送装置，

所述导轨包括朝向上部突出的支撑柱和从所述支撑柱弯曲的上板，所述支撑部件形成为沿所述沉积源框架的长度方向延伸而形成的板状。

4.根据权利要求3所述的沉积源运送装置，

所述第一悬浮部件固定设置在所述上板的上表面，所述第二悬浮部件固定设置在所述支撑部件的下部。

5.根据权利要求4所述的沉积源运送装置，

所述缓冲部件位于所述支撑部件与所述第二悬浮部件之间且具有弹性。

6.根据权利要求1所述的沉积源运送装置，

所述第一悬浮部件及所述第二悬浮部件由永久磁铁形成，所述第一悬浮部件及所述第二悬浮部件以相互不同的极性相互面对的方式配置。

7.根据权利要求1所述的沉积源运送装置，

所述第一悬浮部件包括磁芯和缠绕在形成于所述磁芯上的突起的线圈。

8.根据权利要求7所述的沉积源运送装置，

所述第二悬浮部件由强磁性体板形成。

9.根据权利要求1所述的沉积源运送装置，

所述导轨包括朝向上部突出的支撑柱和从所述支撑柱弯曲的上板，所述支撑部件包括与所述沉积源框架的下表面相接触的上部支撑部、在所述上部支撑部的下侧与所述上板的下表面相对的下部支撑部及连接所述下部支撑部与所述上部支撑部的侧面支撑部。

10.根据权利要求9所述的沉积源运送装置，

所述第一悬浮部件固定设置在所述上板的下表面，所述第二悬浮部件固定设置在所述下部支撑部的上表面。

11.根据权利要求10所述的沉积源运送装置，

所述缓冲部件设置在所述上部支撑部的下表面与所述上板的上表面之间。

12.根据权利要求11所述的沉积源运送装置，

所述缓冲部件配置成固定在所述上部支撑部的下表面并与所述上板相隔。

13.根据权利要求1所述的沉积源运送装置，

进一步包括结合在所述沉积源框架的绳和缠绕所述绳的卷取部件。

14.根据权利要求1所述的沉积源运送装置，

进一步包括：第一绳，与所述沉积源框架的一侧端部连接；第一卷取部件，缠绕所述第一绳；第一电动机，旋转所述第一卷取部件；第二绳，与所述沉积源框架的另一侧端部连接；第二卷取部件，缠绕所述第二绳；和第二电动机；旋转所述第二卷取部件。