[发明专利]沉积源运送装置

说明书

根据本发明的一方面的沉积源运送装置包括：导轨，沿一方向延伸而形成，并具有形成磁力的第一悬浮部件；支撑部件，被配置在所述导轨上，并具有与所述第一悬浮部件相对的第二悬浮部件；以及沉积源框架，安装在所述支撑部件上。

技术领域

本发明涉及一种沉积源运送装置，更详细地，涉及适用于离子注入系统的沉积源运送装置。

背景技术

一般来讲，作为平板显示器之一的电致发光显示装置，根据作为发光层使用的物质区分为无机电致发光显示装置和有机电致发光显示装置，由于有机电致发光显示装置能够用低电压驱动，且为轻量薄型的同时，具备不仅视角宽而且响应速度快的优点，因此受到瞩目。

这种有机电致发光显示装置的有机电致发光元件由在基板上以层压方式形成的阳极、有机物层及阴极构成。有机物层包括通过空穴和电子的再结合而形成激子并发射光的有机发光层的有机物层，此外，为了用有机发光层顺畅地传输空穴和电子以提高发光效率，使电子注入层和电子传输层的有机物层介于所述阴极和有机发光层之间的同时，使空穴注入层和空穴传输层的有机物层介于阳极和有机发光层之间。

由上述结构形成的有机电致发光元件一般由如真空沉积法、离子镀法及溅射法等物理气相沉积法、或通过气体反应进行的化学气相沉积法制作。特别是，为了形成有机电致发光元件的有机物层，广泛使用将在真空中蒸发的有机物质沉积在基板上的真空沉积法，在这种真空沉积法中，使用将在真空腔室内蒸发的有机物质喷射到基板的沉积源（effusion cell，泄流室）。沉积源包括收容有有机物质的坩埚和加热坩埚的加热机构。

在基板趋于大型化的形式下，为了将具有良好的阶梯覆盖能力和均匀度的有机物层形成在基板上，沉积源在真空腔室内移动并向静止的基板提供通过蒸发有机物质形成的有机气相物质。

如此，沉积源由移动的移动源形成的情况下，为了沉积源的移动而设置轨道，且沉积源在轨道上移动。此时，轨道上设置有沿轨道移动的滑动导轨，在滑动导轨上安装有沉积源主体。

在滑动导轨的内部插入设置有用于联动的多个球或轴承，并为了减少球与轨道的摩擦，对球供给润滑油（grease）。如此，在使用设置有球的滑动导轨的情况下，当沉积源在轨道上移动时，会有振动传递到沉积源。

这种振动对离子注入系统带来噪音，这会带来传感器错误及膜厚度不均匀等问题。特别是，在摩擦大的情况下，移动速度降低，这诱导膜厚度的不均匀。此外，因摩擦而球产生热或因腔室内的热而润滑油被加热时，则由于润滑油蒸发而气体引发腔室内部的污染，这成为导致不良的原因。此外，由于为了润滑油的再供给而需要中断操作，因此发生操作时间延迟且生产率降低的问题。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而提出的，目的在于提供一种能够将振动的影响最小化并提高寿命的离子注入系统的沉积源运送装置。

根据本发明的一方面的沉积源运送装置包括：导轨，沿一方向延伸而形成，并具有形成磁力的第一悬浮部件；支撑部件，被配置在所述导轨上，并具有与所述第一悬浮部件相对的第二悬浮部件；以及沉积源框架，安装在所述支撑部件上。

所述第一悬浮部件及所述第二悬浮部件由永久磁铁形成，所述第一悬浮部件及所述第二悬浮部件能够以相同的极性相互面对的方式配置，并且所述导轨包括朝向上部突出的支撑柱和从所述支撑柱弯曲的上板，所述支撑部件可形成为沿沉积源框架的长度方向延伸而形成的板状。

所述第一悬浮部件固定设置在所述上板的上表面，所述第二悬浮部件固定设置在所述支撑部件的下部，并在所述支撑部件与所述第二悬浮部件之间可设置有具有弹性的缓冲部件。

所述第一悬浮部件及所述第二悬浮部件由永久磁铁形成，所述第一悬浮部件及所述第二悬浮部件能够以相互不同的极性相互面对的方式配置，所述第一悬浮部件可由包括磁芯和缠绕在形成于磁芯上的突起的线圈的电磁铁形成。