[发明专利]一种叠层线圈类器件的制作方法

权利要求书

1.一种叠层线圈类器件的制作方法，包括以下步骤：

1）制成陶瓷绝缘层薄片；

2）将部分陶瓷绝缘层薄片制成带导电通孔的陶瓷绝缘层薄片；

3）在所述陶瓷绝缘体薄片上设置线圈导体，形成带线圈导体的线圈层薄片；

4）将所述陶瓷绝缘层薄片和所述带线圈导体的线圈层薄片按次序叠层切断使形成单位尺寸，从而得到叠层体；

其特征在于，

步骤3）包括以下步骤：

3.1）在步骤2）得到的带导电通孔的陶瓷绝缘体薄片上，采用光刻法在所述陶瓷绝缘体薄片设定位置形成线圈形状的沟槽；

3.2）将导电胶体填充在所述线圈形状的沟槽处，且导电胶体的厚度等于或略大于所述沟槽的深度，形成内部电极。

2.如权利要求1所述的叠层线圈类器件的制作方法，其特征在于，步骤3.1）包括以下步骤：

3.1.1）在黄光空间内，在步骤2）得到的带导电通孔的陶瓷绝缘体薄片上，涂布一层感光陶瓷浆料，烘干后为感光陶瓷基片；

3.1.2）在黄光空间内，采用特定图案的掩膜板对感光陶瓷基片进行曝光；

3.1.3）在黄光空间内，对曝光后的料片进行显影、清洗和烘干后得到在线圈层设定位置形成线圈形状的沟槽。

3.如权利要求2所述的叠层线圈类器件的制作方法，其特征在于，步骤3.1.1）中，涂布的感光陶瓷浆料的厚度为20μm～100μm，优选50μm，涂布了感光陶瓷浆料的陶瓷绝缘体薄片放入90度烘箱，保温100s-140s；步骤3.1.2）中，曝光能量140mJ～160mJ/（cm2*min），时间3～10s；步骤3.1.3）中，对曝光后的料片用显影液浸泡50～100s后除去作为电极图案的地方，清洗后以100℃～120℃的温度烘烤20min左右。

4.如权利要求2所述的叠层线圈类器件的制作方法，其特征在于，所述感光陶瓷浆料包含40%～85%的铁氧体粉料、15%～45%的光阻剂和5%～20%的溶剂。

5.如权利要求1至4任一项所述的叠层线圈类器件的制作方法，其特征在于，步骤3.2）中，所述导电胶体通过丝网印刷的方法印刷在所述线圈形状的沟槽处。

6.如权利要求1至4任一项所述的叠层线圈类器件的制作方法，其特征在于，所述导电胶体为以Ag为主要成分的导电胶体。

7.如权利要求1至4任一项所述的叠层线圈类器件的制作方法，其特征在于，在步骤4）之后还包括以下步骤：

5）将被切断的叠层体在空气中，在约400℃下加热2小时，除去胶结料成分；再次，将此叠层体在空气中，在850～910℃下烧结2～6小时；

6）在叠层体的两端部上，使用浸渍法等涂敷以Ag为主成分的导电胶体，并在空气中于550～850℃下烧结1小时，由此形成外部电极。

8.如权利要求1至4任一项所述的叠层线圈类器件的制作方法，其特征在于，所述陶瓷绝缘层薄片的厚度为10μm～60μm。

9.如权利要求1至4任一项所述的叠层线圈类器件的制作方法，其特征在于，所述带导电通孔的陶瓷绝缘层薄片，导电通孔的直径为50μm～200μm。