[发明专利]一种叠层线圈类器件的制作方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种叠层线圈类器件的制作方法。

背景技术

叠层功率型线圈类器件包括叠层大电流磁珠、叠层功率电感及叠层功率型变压器等。由于叠层功率型线圈类器件具有可靠性高、易于大批量生产、易于小型化及薄型化等优点，被广泛应用于各种便携产品的电源线路中。对叠层功率型线圈类器件，要求其采用一定陶瓷材料时，在较小尺寸，尤其是较薄厚度的产品空间内实现较大的阻抗或电感量，特别要求产品具有极低的直流电阻以能承受大电流。使线圈电极截面又窄又厚是使叠层功率型线圈类器件达到上述目标的最有效方法。为了制作叠层功率型线圈器件，中国专利申请102592817A介绍了两种沟槽技术的实现线圈电极方法，一是采用丝网印刷的方法，二是采用激光刻蚀的方法。对于采用丝网印刷的方法，受限于丝网印刷工艺，沟槽的形状难以得到保证，且沟槽的深度和宽度范围较窄。对于采用激光刻蚀的方法，由于激光刻蚀需要逐个图案进行，效率受到影响。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的不足，提供一种叠层线圈类器件的制作方法，改善形成电极的沟槽的深度和宽度并提高制作效率。

为实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种叠层线圈类器件的制作方法，包括以下步骤：

1）制成陶瓷绝缘层薄片；

2）将部分陶瓷绝缘层薄片制成带导电通孔的陶瓷绝缘层薄片；

3）在所述陶瓷绝缘体薄片上设置线圈导体，形成带线圈导体的线圈层薄片；

4）将所述陶瓷绝缘层薄片和所述带线圈导体的线圈层薄片按次序叠层切断使形成单位尺寸，从而得到叠层体；

步骤3）包括以下步骤：

3.1）在步骤2）得到的带导电通孔的陶瓷绝缘体薄片上，采用光刻法在所述陶瓷绝缘体薄片设定位置形成线圈形状的沟槽；

3.2）将导电胶体填充在所述线圈形状的沟槽处，且导电胶体的厚度等于或略大于所述沟槽的深度，形成内部电极。

优选地：

步骤3.1）包括以下步骤：

3.1.1）在黄光空间内，在步骤2）得到的带导电通孔的陶瓷绝缘体薄片上，涂布一层感光陶瓷浆料，烘干后为感光陶瓷基片；

3.1.2）在黄光空间内，采用特定图案的掩膜板对感光陶瓷基片进行曝光；

3.1.3）在黄光空间内，对曝光后的料片进行显影、清洗和烘干后得到在线圈层设定位置形成线圈形状的沟槽。

步骤3.1.1）中，涂布的感光陶瓷浆料的厚度为20μm～100μm，优选50μm，涂布了感光陶瓷浆料的陶瓷绝缘体薄片放入90度烘箱，保温120s；步骤3.1.2）中，曝光能量140mJ～160mJ/（cm2*min），时间3～10s；步骤3.1.3）中，对曝光后的料片用显影液浸泡50～100s后除去作为电极图案的地方，清洗后以100℃～120℃的温度烘烤20min。

所述感光陶瓷浆料包含40%～85%的铁氧体粉料、15%～45%的光阻剂和5%～20%的溶剂。

步骤3.2）中，所述导电胶体通过丝网印刷的方法印刷在所述线圈形状的沟槽处。

所述导电胶体为以Ag为主要成分的导电胶体。

在步骤4）之后还包括以下步骤：

5）将被切断的叠层体在空气中，在约400℃下加热2小时，除去胶结料成分；再次，将此叠层体在空气中，在850～910℃下烧结2～6小时；

6）在叠层体的两端部上，使用浸渍法等涂敷以Ag为主成分的导电胶体，并在空气中于550～850℃下烧结1小时，由此形成外部电极。

所述陶瓷绝缘层薄片的厚度为10μm～60μm。

所述带导电通孔的陶瓷绝缘层薄片，导电通孔的直径为50μm～200μm。