[发明专利]扫描机台程式控制方法

权利要求书

1.一种扫描机台程式控制方法，其特征在于，包括步骤：

步骤S1：定义扫描程式的机台目录及文件位置；

步骤S2：控制系统连接至各扫描机台的扫描程式文件位置；

步骤S3：控制系统获取扫描程式文件列表信息，并对文件进行解析；其中，当控制系统上无扫描程式关键值文件存储时，即：步骤S3中第一次获取扫描程式文件列表信息、并对文件进行解析时，提取扫描程式信息后，生成初始扫描程式关键值文件；而当控制系统上已存储有扫描程式关键值文件时，则重复执行步骤S3，此时，控制系统通过获取扫描程式文件列表信息和对文件的解析，自动获取扫描程式机台目录中文件的更新状态；

步骤S4：提取扫描程式信息，生成扫描程式关键值文件，并存储至控制系统；其中，各扫描机台中的扫描程式的机台目录均采用相同的定义规则，以及扫描程式的.xml文件中扫描设定关键值采用相同的命名；

当扫描程式机台目录中文件有新增、删除或修改时，控制系统更新扫描程式关键值文件中扫描程式的信息；即：当扫描程式机台目录中文件有更新时，执行步骤S4，更新扫描程式关键值文件；当扫描程式机台目录中文件无更新时，不执行步骤S4，间隔一定时间后，再次执行步骤S3。

2.根据权利要求1所述的扫描机台程式控制方法，其特征在于，所述控制系统周期性的、定时自动获取扫描程式机台目录中文件的更新状态。

3.根据权利要求1所述的扫描机台程式控制方法，其特征在于，所述机台目录包括扫描程式的产品信息和半导体结构层信息。

4.根据权利要求1所述的扫描机台程式控制方法，其特征在于，所述 文件位置包括扫描机台信息。

5.根据权利要求1所述的扫描机台程式控制方法，其特征在于，所述控制系统通过FTP方式连接至各扫描机台的扫描程式文件位置。

6.根据权利要求1所述的扫描机台程式控制方法，其特征在于，还包括对扫描程式的查询和调取步骤，该步骤中，将扫描程式关键值文件从控制系统备份至本地，进行所需关键值的查询和调取。

7.根据权利要求1所述的扫描机台程式控制方法，其特征在于，所述扫描机台包括各条生产线上对全部产品、各半导体结构层进行缺陷扫描所需的全部扫描机台；所述扫描程式包括所述全部扫描机台上设置的全部扫描程式；所述文件位置包括所述扫描程式的全部.xml文件被指定的文件位置。