[发明专利]扫描机台程式控制方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，特别涉及半导体工艺中的良率提升缺陷扫描机台程式控制技术。

背景技术

随着集成电路工艺的发展，特征尺寸持续按比例缩小，半导体工艺制造的复杂性也在不断提高。在这种发展趋势下，缺陷扫描机台（Defect scan tool）在半导体工艺中的应用也越来越广泛，用来对不同产品线上的产品晶圆各层上的缺陷进行扫描。

现有技术中，各半导体生产线上均设有若干用于良率提升的缺陷扫描机台，分别对应不同的产品、不同的生产线、甚至不同的工艺环节，每台缺陷扫描机台上，都设有非常多的扫描程式，对应某类产品、某一层结构的缺陷扫描，切每个程式均包括多个.xml文件，每个.xml文件都会包括缺陷扫描设定的关键参数值，这些关键值是对产品及不同半导体结构进行缺陷扫描的关键所在。然而，目前，半导体生产线上涉及的较多数量的缺陷扫描机台、较多的产品类型、每类产品具有的多层半导体结构、每层半导体结构扫描定义的多个关键参数值，以及并不规范的命名、管理方法，都使得生产线上缺陷扫描机台程式繁多、数据庞杂，这些都为调取或查看某产品在某缺陷扫描机台上某一层的扫描程式及关键参数值等信息带来了极大的不便，不仅增加了工作量，也降低了缺陷扫描及关键参数值调整的工作效率。

因此，如何能够实现对多产品、多半导体层的多扫描机台程式及关键参数值进行统一控制，实现所需扫描信息的快速、高效提取，提高工作效率，成为半导体生产中需要解决的重要问题之一。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是，提供一扫描机台程式控制方法，能够实现对多产品、多半导体层的多扫描机台程式及关键参数值进行统一控制，实现所需扫描程式信息的快速、高效提取，提高工作效率。

为解决上述技术问题，本发明提供了一扫描机台程式控制方法，包括步骤：定义扫描程式的机台目录及文件位置；控制系统连接至各扫描机台的扫描程式文件位置；控制系统获取扫描程式文件列表信息，并对文件进行解析；提取扫描程式信息，生成扫描程式关键值文件，并存储至控制系统。

作为可选择的技术方案，该方法还包括：控制系统自动获取扫描程式机台目录中文件的更新状态，当扫描程式机台目录中文件有新增、删除或修改时，控制系统更新扫描程式关键值文件中扫描程式的信息。进一步地，所述控制系统周期性的、定时自动获取扫描程式机台目录中文件的更新状态。

作为可选择的技术方案，所述机台目录包括扫描程式的产品信息和半导体结构层信息；所述文件位置包括扫描机台信息。进一步地，各扫描机台中扫描程式的机台目录均采用相同的定义规则。

作为可选择的技术方案，所述控制系统通过FTP方式连接至各扫描机台的扫描程式文件位置；该扫描机台程式控制方法还包括对扫描程式的查询和调取步骤，该步骤中，将扫描程式关键值文件从控制系统备份至本地，进行所需关键值的查询和调取。

作为可选择的技术方案，本方法所涉及的扫描机台包括各条生产线上对全部产品、各半导体结构层进行缺陷扫描所需的全部扫描机台；所述扫描程式包括所述全部扫描机台上设置的全部扫描程式；所述文件位置包括所述扫描程式的全部.xml文件被指定的文件位置。

本发明提供的扫描机台程式控制方法，通过定义包括扫描程式产品信息和半导体结构层信息的机台目录，并定义包括机台信息的文件位置，将产品线所涉及的所有扫描机台通过FTP方式连接至控制系统，由控制系统获取并解析各扫描机台上的全部文件信息，并在对关键值统一命名的基础上，提取扫描程式信息，生成扫描程式关键值文件，以便于对所需的扫描程式关键值进行便捷的查询和提取。

与现有技术相比，本发明提供的扫描机台程式控制方法能够通过控制系统自动获取扫描程式机台目录中文件的更新状态，当扫描程式机台目录中文件有新增、删除或修改时，控制系统更新扫描程式关键值文件中扫描程式的信息。在需要对某些关键值进行查询或提取时，只需从控制系统中将包括所有扫描机台、所有扫描程式的所有文件信息的扫描程式关键值文件备份至本地，在文件中进行搜索或筛选，即可自动生成包括且仅包括所需关键值信息的表格。该方法大大提高了工作效率，简化了工作流程，能够实现对多产品、多半导体层的多扫描机台程式及关键参数值的统一控制，实现所需扫描程式信息的快速、高效查询和提取。

附图说明

图1为本发明提供的扫描机台程式控制方法工作流程图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明的实施方式作进一步地详细描述。