[发明专利]机台相互共用尾气处理装置的方法

权利要求书

1.一种机台相互共用尾气处理装置的方法，应用于镀膜工序中，所述镀膜工序的设备至少包括两台机台，每台机台均设有一个尾气处理装置，其特征在于，包括如下步骤：

S1，将相邻两台机台的尾气处理装置的进气管连接，并于连接处采用气动阀隔开，同时将所述两台机台的尾气处理装置的报警线路分别并联入所述两台机台的互锁装置；

S2，若所述两台机台其中一台的尾气处理装置发生故障，且另一机台的尾气处理装置正常工作时，则开启所述气动阀，以将尾气处理装置发生故障的机台的尾气导入另一机台的尾气处理装置；

S3，若所述两台机台的尾气处理装置均发生故障时，则触发所述两台机台的互锁装置，该两台机台停机。

2.如权利要求1所述的机台相互共用尾气处理装置的方法，其特征在于，所述步骤S1具体为：将相邻两台机台的尾气处理装置的进气管采用导气管连通，所述导气管一端连通一台机台的尾气处理装置的进气管，另一端连通另一台机台的尾气处理装置的进气管，所述导气管由加装在所述导气管上的气动阀控制所述导气管的导通和断开，同时将所述两台机台的尾气处理装置的报警线路分别并联入所述两台机台的互锁装置。

3.如权利要求1所述的机台相互共用尾气处理装置的方法，其特征在于，在所述步骤S1中，所述两台机台的尾气处理装置均具有一个高电压接口和一个低电压接口，所述两台机台中任一机台的尾气处理装置的高电压接口的报警线路与另一机台的尾气处理装置的高电压接口的报警线路连接，所述两台机台中任一机台的尾气处理装置的低电压接口的报警线路与另一机台的尾气处理装置的低电压接口的报警线路连接。

4.如权利要求1所述的机台相互共用尾气处理装置的方法，其特征在于，在所述步骤S1中，所述互锁装置为机台传送腔室的互锁装置。

5.如权利要求1所述的机台相互共用尾气处理装置的方法，其特征在于，所述每台机台的尾气处理装置中均设有报警装置。

6.如权利要求5所述的机台相互共用尾气处理装置的方法，其特征在于，在所述步骤S2中，若所述两台机台其中一台的尾气处理装置发生故障，所述发生故障的尾气处理装置的报警装置报警，则开启所述气动阀，以将发生故障机台的尾气导入另一机台的尾气处理装置，此时，尾气处理装置发生故障的机台不停机。

7.如权利要求1所述的机台相互共用尾气处理装置的方法，其特征在于，所述两台机台的互锁装置具有相同的电压。

8.如权利要求1所述的机台相互共用尾气处理装置的方法，其特征在于，所述两台机台的尾气处理装置为作用相同的尾气处理装置。