[发明专利]机台相互共用尾气处理装置的方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种机台相互共用尾气处理装置的方法。 

背景技术

近年来，半导体制造技术蓬勃发展，半导体产品在生产、生活中的应用越来越广泛，制造半导体产品的机台的生产效率也显得越来越重要，例如在对芯片表面进行镀膜的过程中，机台会产生较多的尾气，如图1所示，机台1和机台2各设有一个尾气处理装置，从而分别对机台1和机台2产生的尾气进行处理，但是当其中一个机台的尾气处理装置出现故障时，出现故障的机台的尾气处理装置就会报警从而需要停机对机台的尾气处理装置进行维修，以及对尾气处理装置进行维护时也需要先停机，影响了机台运行的时间，进而影响了生产效率，同时频繁停机也会对机台本身造成不好的影响，如图2所示，此时机台1的互锁装置1和机台2中的互锁装置2与机台1和机台2的尾气处理装置并未连接。 

中国专利（公开号：CN102019134A）公开了一种尾气处理装置，包括：监测单元，监测尾气状态；控制单元，在监测单元获得的尾气状态达到尾气处理阈值时，产生尾气处理信号；处理单元，在获得控制单元产生的尾气处理信号后，对尾气进行无害化处理。所述尾气处理装置减少了电力消耗，相应提高了尾气处理效率。 

中国专利（公开号：CN1899674A）公开了一种半导体与光电制程尾气处理方法，将水(H₂O)激化成电浆态(PLASMA STATUS)，同时利用电浆所产生的高温与H和O的自由基来破坏与反应有毒废气与含氟与氯等卤素化合物，使破坏后的有毒废气与H和O同时化合，而让有毒气体化合成无毒性或毒性较低的气体，以有效将低废气处理所需的成本及时间，且H₂O取得相当容易及便宜,可大幅地降低处理成本。 

上述两件专利均未解决现有技术中机台的尾气处理装置出现故障时报警，此时需要停机对机台的尾气处理装置进行维修，以及对尾气处理装置进行维护时也需要先停机，从而影响了机台运行的时间，进而影响生产效率的问题。 

发明内容

针对上述存在的问题，本发明公开一种机台相互共用尾气处理装置的方法，以克服现有技术中机台的尾气处理装置出现故障时报警，此时需要停机对机台的尾气处理装置进行维修，以及对尾气处理装置进行维护时也需要先停机，从而影响了机台运行的时间，进而影响生产效率的问题。 

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案： 

一种机台相互共用尾气处理装置的方法，应用于镀膜工序中，所述镀膜工序的设备至少包括两台机台，每台机台均设有一个尾气处理装置，包括如下步骤： 

S1，将相邻两台机台的尾气处理装置的进气管连接，并于连接处采用气动阀隔开，同时将所述两台机台的尾气处理装置的报警线路分别并联入所述两台机台的互锁装置； 

S2，若所述两台机台其中一台的尾气处理装置发生故障，且另一机台的尾气处理装置正常工作时，则开启所述气动阀，以将尾气处理装置发生故障的机台的尾气导入另一机台的尾气处理装置； 

S3，若所述两台机台的尾气处理装置均发生故障时，则触发所述两台机台的互锁装置，该两台机台停机。 

上述的机台相互共用尾气处理装置的方法，其中，所述步骤S1具体为：将相邻两台机台的尾气处理装置的进气管采用导气管连通，所述导气管一端连通一台机台的尾气处理装置的进气管，另一端连通另一台机台的尾气处理装置的进气管，所述导气管由加装在所述导气管上的气动阀控制所述导气管的导通和断开，同时将所述两台机台的尾气处理装置的报警线路分别并联入所述两台机台的互锁装置。 

上述的机台相互共用尾气处理装置的方法，其中，在所述步骤S1中，所述两台机台的尾气处理装置均具有一个高电压接口和一个低电压接口，所述两台机台中任一机台的尾气处理装置的高电压接口的报警线路与另一机台的尾气处理装置的高电压接口的报警线路连接，所述两台机台中任一机台的尾气处理装置的低电压接口的报警线路与另一机台的尾气处理装置的低电压接口的报警线路连接。 

上述的机台相互共用尾气处理装置的方法，其中，在所述步骤S1中，所述互锁装置为机台传送腔室的互锁装置。 

上述的机台相互共用尾气处理装置的方法，其中，所述每台机台的尾气处理装置中均设有报警装置。