[发明专利]自动批量化MEMS加速度传感器静态翻滚试验装置有效
申请号: | 201310637072.2 | 申请日: | 2013-12-03 |
公开(公告)号: | CN103592466A | 公开(公告)日: | 2014-02-19 |
发明(设计)人: | 石云波;刘俊;唐军;马宗敏;丑修建;赵赟;薛彦辉;于春华 | 申请(专利权)人: | 中北大学 |
主分类号: | G01P21/00 | 分类号: | G01P21/00 |
代理公司: | 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 | 代理人: | 朱源 |
地址: | 030051 山*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 自动 批量 mems 加速度 传感器 静态 翻滚 试验装置 | ||
1.一种自动批量化MEMS加速度传感器静态翻滚试验装置,其特征在于:包括自动加载平台、反馈式自动翻滚平台、控制系统、数据采集系统;
所述自动加载平台包括竖直加载平台、水平加载平台、槽型底座(1);
所述竖直加载平台包括左竖直电机(2)、左竖直丝杠副(3)、左竖直导轨副(4)、左L型底板(5)、右竖直电机(6)、右竖直丝杠副(7)、右竖直导轨副(8)、右L型底板(9);
所述水平加载平台包括左水平电机(10)、左水平丝杠副(11)、左水平导轨副(12)、左连接件(13)、步进电机(14)、左销轴(15)、右水平电机(16)、右水平丝杠副(17)、右水平导轨副(18)、右连接件(19)、右销轴(20);
所述反馈式自动翻滚平台包括半封闭槽型载台(21)、倾角传感器(22);
所述控制系统包括PLC(23)、计算机(24);
所述数据采集系统包括数据采集卡(25);
其中,左竖直电机(2)的机座固定于槽型底座(1)的左侧内槽壁;左竖直丝杠副(3)的丝杠上端与左竖直电机(2)的输出轴连接;左竖直导轨副(4)的导轨竖直固定于槽型底座(1)的左侧内槽壁;左L型底板(5)的竖直板外侧壁分别与左竖直丝杠副(3)的螺母右侧外壁和左竖直导轨副(4)的滑块右侧壁固定;右竖直电机(6)的机座固定于槽型底座(1)的右侧内槽壁;右竖直丝杠副(7)的丝杠上端与右竖直电机(6)的输出轴连接;右竖直导轨副(8)的导轨竖直固定于槽型底座(1)的右侧内槽壁;右L型底板(9)的竖直板外侧壁分别与右竖直丝杠副(7)的螺母左侧外壁和右竖直导轨副(8)的滑块左侧壁固定;
左水平电机(10)的机座固定于左L型底板(5)的竖直板内侧壁;左水平丝杠副(11)的丝杠左端与左水平电机(10)的输出轴连接;左水平导轨副(12)的导轨水平固定于左L型底板(5)的水平板内侧壁;左连接件(13)的下侧壁与左水平导轨副(12)的滑块上侧壁固定;左连接件(13)上水平贯通开设有左连接孔和电机安装孔;左水平丝杠副(11)的螺母套接固定于左连接孔内;步进电机(14)的机座套接固定于电机安装孔内;左销轴(15)的左端与步进电机(14)的输出轴连接;右水平电机(16)的机座固定于右L型底板(9)的竖直板内侧壁;右水平丝杠副(17)的丝杠右端与右水平电机(16)的输出轴连接;右水平导轨副(18)的导轨水平固定于右L型底板(9)的水平板内侧壁;右连接件(19)的下侧壁与右水平导轨副(18)的滑块上侧壁固定;右连接件(19)上水平贯通开设有右连接孔;右水平丝杠副(17)的螺母外侧壁套接固定于右连接孔内;右销轴(20)的右端面与右连接件(19)的左侧壁固定;
半封闭槽型载台(21)的左侧槽壁贯通开设有左销孔;左销孔与左销轴(15)位置正对;半封闭槽型载台(21)的右侧槽壁贯通开设有右销孔;右销孔与右销轴(20)位置正对;倾角传感器(22)固定于半封闭槽型载台(21)的内侧端壁;
PLC(23)的信号输出端分别与左竖直电机(2)的信号输入端、右竖直电机(6)的信号输入端、左水平电机(10)的信号输入端、步进电机(14)的信号输入端、右水平电机(16)的信号输入端连接;计算机(24)的信号输出端与PLC(23)的信号输入端连接;
数据采集卡(25)的信号输入端与倾角传感器(22)的信号输出端连接;数据采集卡(25)的信号输出端与计算机(24)的信号输入端连接。
2.根据权利要求1所述的自动批量化MEMS加速度传感器静态翻滚试验装置,其特征在于:所述左竖直导轨副(4)的数目、右竖直导轨副(8)的数目、左水平导轨副(12)的数目、步进电机(14)的数目、左销轴(15)的数目、右水平导轨副(18)的数目、右销轴(20)的数目、半封闭槽型载台(21)的数目均为两个;所述两个左竖直导轨副(4)的位置、两个右竖直导轨副(8)的位置、两个左水平导轨副(12)的位置、两个步进电机(14)的位置、两个左销轴(15)的位置、两个右水平导轨副(18)的位置、两个右销轴(20)的位置、两个半封闭槽型载台(21)的位置均相互对称。
3.根据权利要求1所述的自动批量化MEMS加速度传感器静态翻滚试验装置,其特征在于:所述左销轴(15)为方形销轴;所述左销孔为方形销孔;所述右销轴(20)为圆形销轴;所述右销孔为圆形销孔。
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