[发明专利]自动批量化MEMS加速度传感器静态翻滚试验装置

说明书

技术领域

本发明涉及MEMS加速度传感器的标定校准技术，具体是一种自动批量化MEMS加速度传感器静态翻滚试验装置。

背景技术

MEMS加速度传感器因其具有体积小、重量轻、成本低、可靠性好、功耗低、测量范围大等一系列优点，而被广泛应用于汽车电子、无线通信、生物医学、航空航天、工业、农业等领域。MEMS加速度传感器无论在研制后还是使用前，均需要进行性能参数的标定校准，以保证MEMS加速度传感器在实际应用中的精度。根据不同的标定校准要求，MEMS加速度传感器通常要进行力学试验、环境试验以及长时间的稳定性和重复性试验。其中，力学试验又分为静力学试验和动力学试验。静力学试验又分为重力场静态翻滚试验、离心试验等。重力场静态翻滚试验是指：将重力加速度在MEMS加速度传感器输入轴的分量作为输入量，并通过利用等角度分割的多点翻滚程序或加速度增量线性程序，来标定校准MEMS加速度传感器的各项静态性能参数的试验。在现有技术条件下，MEMS加速度传感器的重力场静态翻滚试验主要通过光学分度头、离心机、精密转台等各种静态标定测试设备来实现。实践表明，以上各种静态标定测试设备因其自身结构所限，存在如下问题：其一，在进行重力场静态翻滚试验时，现有MEMS加速度传感器静态标定测试设备是将MEMS加速度传感器装卡在加载平台上进行静态测试。如果需要进行动态测试，则还需要人工手动将MEMS加速度传感器与加载平台进行分离，由此导致操作繁琐，从而导致标定校准耗时多、标定校准效率低。其二，在进行重力场静态翻滚试验时，现有MEMS加速度传感器静态标定测试设备只能对单件MEMS加速度传感器进行手动标定校准，而无法对批量MEMS加速度传感器进行自动标定校准，由此同样导致标定校准耗时多、标定校准效率低。其三，由于现有MEMS加速度传感器静态标定测试设备的体积较大，导致其只能在常温下对MEMS加速度传感器进行标定校准，而无法在温湿度可变的环境下对MEMS加速度传感器进行标定校准，从而导致标定校准能力有限。基于此，有必要发明一种全新的MEMS加速度传感器静态标定测试设备，以解决现有MEMS加速度传感器静态标定测试设备标定校准耗时多、标定校准效率低、以及标定校准能力有限的问题。

发明内容

本发明为了解决现有MEMS加速度传感器静态标定测试设备标定校准耗时多、标定校准效率低、以及标定校准能力有限的问题，提供了一种自动批量化MEMS加速度传感器静态翻滚试验装置。