[发明专利]沉积源组件

权利要求书

1.一种用于将沉积材料沉积在配置于腔中的衬底上的沉积源组件，包括：

沉积源，设置在所述腔中用于将所述沉积材料沉积在所述衬底上；

电极，所述电极穿过所述腔的至少一个壁，并被配置成向所述沉积源提供电力；

绝缘部件，设置在所述电极与所述腔的壁之间；以及

绝缘部件盖，设置在所述绝缘部件上以至少覆盖所述绝缘部件的一部分，

其中所述绝缘部件盖包括：

基座，所述基座突出超过所述绝缘部件，并完全覆盖所述绝缘部件的面对所述沉积源的顶表面；以及

突出部，所述突出部沿着远离所述沉积源的方向突出至所述绝缘部件的侧面的上部。

2.如权利要求1所述的沉积源组件，其中所述沉积源被配置成沉积金属材料。

3.如权利要求2所述的沉积源组件，其中所述沉积材料包括锂、钙、氟化锂/钙、氟化锂/铝、铝、银、镁及其混合物中的至少一种。

4.如权利要求1所述的沉积源组件，其中：

所述腔的壁包括穿过所述壁形成的孔；

所述绝缘部件延伸穿过所述孔；以及

所述电极延伸穿过所述绝缘部件。

5.如权利要求4所述的沉积源组件，其中所述绝缘部件附接至所述腔的所述壁的内表面和外表面。

6.如权利要求1所述的沉积源组件，其中所述基座直接配置在所述绝缘部件上。

7.如权利要求1所述的沉积源组件，其中所述突出部的末端与所述腔的底部表面间隔开。

8.如权利要求1所述的沉积源组件，其中所述绝缘部件盖被配置成防止沉积材料沉积在所述绝缘部件上。

9.如权利要求1所述的沉积源组件，其中所述绝缘部件盖包括陶瓷材料。