[发明专利]沉积源组件

说明书

一种用于将沉积材料沉积在配置在腔中的衬底上的沉积源组件，沉积源组件包括：配置在腔中的沉积源，沉积源被配置成将沉积材料沉积在衬底上；穿过腔的至少一个壁的电极，电极被配置成向沉积源提供电力；配置在电极与腔的壁之间的绝缘部件；以及配置在绝缘部件上从而至少覆盖绝缘部件的一部分的绝缘部件盖。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2013年5月6日提交的第10-2013-0050805号韩国专利申请的优先权，其全部内容通过引用并入本文。

技术领域

示例性实施方式涉及制造技术，更具体地涉及用于基于沉积的制造技术的沉积源组件，该沉积源组件可用于具有提高的生产产量的大衬底批量生产过程。

背景技术

为了支持各种功能，移动电子设备诸如移动电话、笔记本电脑、个人数码助手、平板电脑等通常包括用于为用户提供视觉信息诸如图片或者视频的显示设备。因为通常用于与视觉信息相互作用的各种组件逐渐消失或者小型化（例如，实体按键、开关等），所以显示设备对移动电子设备变得更加重要。此外，显示设备已发展到能弯曲至一定角度或者程度。

在常规显示设备中，至少部分由于其宽视角、良好的对比度以及快速的响应时间，有机发光显示设备具备了吸引性。通常，有机发光显示设备可以通过将多个层堆叠或者沉积来形成，多个层可包括由配置在负极电极与正极电极之间的有机材料形成的发光层。通常，发光层配置在正极电极上，而负极电极配置在发光层上。应该注意的是，负极电极和正极电极以及发光层可以通过蒸发和沉积金属材料或者有机材料来形成。通常使用坩埚来沉积金属材料或者有机材料。坩埚具有其中装有加热器的沉积源。加热器用于加热金属材料或者有机材料，从而蒸发用于沉积的金属材料或者有机材料。

通常，坩埚可包括用于从外部电源供电以加热加热器的电极，并包括使沉积装置的腔内的电极绝缘的绝缘部件。至少部分由于用于完成沉积过程的热和压力的级别，在绝缘部件中可能发生介质击穿的现象，在金属材料沉积在绝缘部件上时，介质击穿的可能性更大。

在本背景技术部分中公开的以上信息仅用于加强对本发明的背景的理解，因此，该信息可包括未形成该国本领域的技术人员已公知的现有技术的信息。

发明内容

示例性实施方式提供了这样一种沉积源组件，该沉积源组件易于制造，可以容易地应用于大衬底批量生产过程，并且具有提高的生产产量以及沉积效率。

本申请的其他方面将在随后的详细描述中提出，并且在某种程度上，将从本公开显而易见，或者可以通过本发明的实践得知。

根据示例性实施方式，用于将沉积材料沉积在配置在腔中的衬底上的沉积源组件，包括：配置在腔中将沉积材料沉积在衬底上的沉积源；穿过腔的至少一个壁的电极，该电极被配置成为沉积源提供电力；配置在电极与腔的壁之间的绝缘部件；以及配置在绝缘部件上的绝缘部件盖，该绝缘部件盖至少覆盖绝缘部件的一部分。

根据示例性实施方式，被配置成将沉积源材料沉积在目标衬底上的装置，包括腔、绝缘部件、绝缘部件盖以及电极。其中，该腔包括：内部腔区域以及延伸至内部腔区域的第一孔。绝缘部件配置在第一孔中，该绝缘部件包括至少延伸至内部腔区域的第二孔。绝缘部件盖配置在绝缘部件的末端，末端配置在内部腔区域中，绝缘部件盖包括与第二孔相关联的第三孔。电极通过第二孔和第三孔延伸进入内部腔区域，该电极被配置成提供电力以蒸发沉积源材料。

前面的一般描述和随后的详细描述是示例性和解释性的，并且旨在按要求提供对本发明的进一步说明。

附图说明

附图提供对本发明的进一步理解，并且被纳入且形成本说明书的一部分，其阐明本发明的示例性实施方式，并且与描述一同用于解释本发明的原理。

图1是根据示例性实施方式的沉积源组件的视图。