[发明专利]半自动晶圆植球设备

权利要求书

1.一种半自动晶圆植球设备，包括底部架台，其特征在于，在底部架台上设有：

晶圆上料/下料机构、晶圆传送机械手、晶圆校准机构、晶圆搭载台、晶圆印刷机构、晶圆植球机构和CCD对位系统；晶圆上料/下料机构、晶圆传送机械手和晶圆校准机构沿y轴方向顺序设置在底部架台的一端，晶圆搭载台、晶圆印刷机构、晶圆植球机构和CCD对位系统沿x轴方向顺序设置在底部架台上，其中的晶圆搭载台临近晶圆传送机械手设置，晶圆植球机构和CCD对位系统组合在一起临近晶圆印刷机构设置。

2.如权利要求1所述的半自动晶圆植球设备，其特征在于：所述晶圆搭载台设有搭载台x轴运动机构、搭载台y轴运动机构、搭载台z轴运动机构和搭载台z轴避让机构，晶圆搭载台可在搭载台x轴运动机构的作用下运动到晶圆印刷机构并在搭载台y轴运动机构、搭载台z轴运动机构和搭载台z轴避让机构的协同作用下实现晶圆印刷；晶圆搭载台可在搭载台x轴运动机构的作用下运动到晶圆植球机构并在搭载台y轴运动机构、搭载台z轴运动机构和搭载台z轴避让机构的协同作用下实现晶圆植球。

3.如权利要求1所述的半自动晶圆植球设备，其特征在于：所述晶圆印刷机构设有印刷刮刀z轴运动机构和印刷刮胶y轴运动机构，晶圆印刷机构在印刷刮刀z轴运动机构和印刷刮胶y轴运动机构的协同作用下实现刮胶操作和晶圆印刷。

4.如权利要求1所述的半自动晶圆植球设备，其特征在于：所述CCD对位系统设有CCD对位x轴运动机构，CCD对位系统在CCD对位x轴运动机构的作用下实现对晶圆印刷位置进行对位以及对晶圆植球位置进行对位。

5.如权利要求1所述的半自动晶圆植球设备，其特征在于：所述晶圆搭载台通过更换载具可分别搭载6英寸、8英寸和12英寸晶圆。