[发明专利]光刻胶供给装置

权利要求书

1.一种光刻胶供给装置，其特征在于，包括固定支架，所述固定支架上固定有盛装光刻胶的容器，所述容器在所述固定支架上倒立放置；

所述容器为密封结构，所述容器顶端穿设有输气管及输送管；所述输气管一端位于所述容器内、另一端连接有供气装置；所述输送管一端的端面与所述容器内顶端共面、另一端延伸出所述容器外部；

所述输气管位于所述容器内的端口设有管塞。

2.根据权利要求1所述的光刻胶供给装置，其特征在于，所述固定支架包括相同的两个底座，每个所述底座上固定有水平设置的横杆，所述横杆上套设有转盘，两个所述转盘相互平行设置；

所述转盘固定连接有圆柱状支架；所述圆柱状支架包括与所述转盘固定连接的侧壁，所述侧壁一端面固定设有第一环状支撑板、另一端面设有第二环状支撑板，且所述第二环状支撑板可拆装式固定在所述侧壁上。

3.根据权利要求2所述的光刻胶供给装置，其特征在于，所述第二环状支撑板与所述侧壁铰接；且，所述第二环状支撑板的边缘端还设有第一连接部、相应的所述侧壁上设有第二连接部，所述第一连接部及第二连接部能够连接或断开连接。

4.根据权利要求3所述的光刻胶供给装置，其特征在于，所述第一连接部及第二连接部上均设有连接孔。

5.根据权利要求2或3所述的光刻胶供给装置，其特征在于，所述转盘与所述侧壁之间通过螺栓固定连接。

6.根据权利要求2所述的光刻胶供给装置，其特征在于，所述转盘与所述横杆之间设有限位结构；

所述容器正立放置并固定在所述圆柱状支架上时，当所述转盘沿第一方向转动并带动所述圆柱状支架转动180度后，所述容器倒立放置，所述限位结构能够卡死所述转盘；当所述转盘沿与所述第一方向相反的第二方向转动使所述容器从倒立放置转换为正立放置时，所述限位结构不作用。

7.根据权利要求1所述的光刻胶供给装置，其特征在于，所述输气管为圆柱管，所述管塞包括四个结构相同的扇形橡胶片，相邻所述橡胶片之间紧密配合以封闭所述输气管位于所述容器内的端口；

当所述供气装置向所述输气管供气时，所述橡胶片沿气体流动方向翘起以打开所述输气管；当所述供气装置停止供气时，所述橡胶片回位以封闭所述输气管。

8.根据权利要求1所述的光刻胶供给装置，其特征在于，所述管塞包括置于所述输气管内的橡胶本体及连接线，所述连接线一端与所述管塞固定连接、另一端与所述输气管外侧壁固定连接；

当所述供气装置向所述输气管供气时，所述管塞能够弹起以打开所述输气管。

9.根据权利要求1所述的光刻胶供给装置，其特征在于，所述容器的材质为热塑性树脂。