[发明专利]光刻胶供给装置有效
申请号: | 201310662932.8 | 申请日: | 2013-12-09 |
公开(公告)号: | CN103645606A | 公开(公告)日: | 2014-03-19 |
发明(设计)人: | 张连坤;李冠军;贾洪元;魏崇喜 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
主分类号: | G03F7/16 | 分类号: | G03F7/16 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光刻 供给 装置 | ||
技术领域
本发明涉及基板生产配件技术,尤其涉及一种光刻胶供给装置。
背景技术
随着国家经济和科技的发展,液晶显示器越来越得到广泛的应用。其中,在液晶显示器的生产过程中,通常需要使用光刻胶来完成制造,例如阵列基板的生产等。
具体地,光刻胶由感光树脂等组成,通过光线照射,显影、曝光等操作后,能够在阵列基板上形成特定图案,从而便于阵列基板的生产。现有技术中,通常使用光刻胶供给单元来提供光刻胶,如图1所示,该光刻胶供给单元包括固定支架10,固定支架10包括固定座101及垂直设在固定座101上的固定杆102,该固定杆102上水平设有压板11,从而盛装有光刻胶的容器12能够固定在固定座101与压板11之间。其中,容器12为能够密封的结构,其顶端(与压板11相接触的一端)设有密封盖,该密封盖上设有第一通孔及第二通孔,第一通孔上穿设有输送管13,输送管13与第一通孔之间密封,且输送管13一端抵达容器12内部底端(输送管13该端端面与容器12底端面之间存在间隙)、另一端延伸出第一通孔;第二通孔上穿设有输气管14,输气管14与第二通孔之间密封,且输气管14一端抵达容器12内部顶端、另一端延伸出第二通孔,从而通过输气管14向容器12内输送压缩空气时,由于容器12为密封空间,因此,容器12内压强增大,则压迫光刻胶进入输送管13中,并沿输送管13的搭设路径输送到特定位置。通常,为了保证光刻胶的输送均匀性,可以在输送管13位于容器12外部的部分设置传感器15(优选设在临近容器12的部分),从而便于控制压缩空气的供给量和供给速率。
然而,在使用上述光刻胶供给单元时,由于通过输气管输送压缩空气使光刻胶沿输送管向上运动,因此,在克服光刻胶自身重力的前提下,需要保证压缩空气具有足够的压力(通常大于10000pa),而过高的压力易导致容器发生破裂的风险;而且,为了保证光刻胶能够顺利流到、并流出输送管,输送管与容器内底端面存在间隙,从而导致位于输送管下侧的部分光刻胶无法被压送到输送管中,造成光刻胶的浪费;另外,在长期使用的过程中,由于压力较大,导致容器易发生膨胀而变粗变高,则使输送管一端与容器内部底端的间隙增大,形成如图2所示的情况,从而图2中位于虚线下方的光刻胶则无法通过气体挤压进入输送管中,进一步造成光刻胶的浪费。
发明内容
本发明的实施例提供一种光刻胶供给装置,解决了使用现有技术中的光刻胶供给单元导致的容器易破裂,且光刻胶浪费的问题。
为达到上述目的,本发明的实施例采用如下技术方案:
一种光刻胶供给装置,包括固定支架,所述固定支架上固定有盛装光刻胶的容器,所述容器在所述固定支架上倒立放置;所述容器为密封结构,所述容器顶端穿设有输气管及输送管;所述输气管一端位于所述容器内、另一端连接有供气装置;所述输送管一端的端面与所述容器内顶端共面、另一端延伸出所述容器外部;所述输气管位于所述容器内的端口设有管塞。
具体可以为,所述固定支架包括相同的两个底座,每个所述底座上固定有水平设置的横杆,所述横杆上套设有转盘,两个所述转盘相互平行设置;所述转盘固定连接有圆柱状支架;所述圆柱状支架包括与所述转盘固定连接的侧壁,所述侧壁一端面固定设有第一环状支撑板、另一端面设有第二环状支撑板,且所述第二环状支撑板可拆装式固定在所述侧壁上。
其中,所述第二环状支撑板与所述侧壁铰接;且,所述第二环状支撑板的边缘端还设有第一连接部、相应的所述侧壁上设有第二连接部,所述第一连接部及第二连接部能够连接或断开连接。
具体地,所述第一连接部及第二连接部上均设有连接孔。
优选地,所述转盘与所述侧壁之间通过螺栓固定连接。
为了方便控制容器倒立放置,所述转盘与所述横杆之间设有限位结构;
所述容器正立放置并固定在所述圆柱状支架上时,当所述转盘沿第一方向转动并带动所述圆柱状支架转动180度后,所述容器倒立放置,所述限位结构能够卡死所述转盘;当所述转盘沿与所述第一方向相反的第二方向转动使所述容器从倒立放置转换为正立放置时,所述限位结构不作用。
管塞的结构有多种,其中一种为:所述输气管为圆柱管,所述管塞包括四个结构相同的扇形橡胶片,相邻所述橡胶片之间紧密配合以封闭所述输气管位于所述容器内的端口;当所述供气装置向所述输气管供气时,所述橡胶片沿气体流动方向翘起以打开所述输气管;当所述供气装置停止供气时,所述橡胶片回位以封闭所述输气管。
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