[发明专利]气体激光器、气体激光器气路系统及其防油耗控制方法

权利要求书

1.一种气体激光器气路系统，其特征在于，包括：

谐振腔；

用于将工作气体驱动至所述谐振腔内部的气体驱动装置，所述气体驱动装置的输出端通过第二管路连通于所述谐振腔的输入端，所述气体驱动装置的输入端通过第三管路连通于所述谐振腔的输出端；

用于将所述谐振腔内部抽真空的抽真空装置，所述抽真空装置的第一连接端通过第四管路连通于所述谐振腔的输出端，且所述抽真空装置的第二连接端通过第五管路与所述气体驱动装置的输出端连通；

用以将所述气体驱动装置的非正常损耗润滑油收集并将其返还至所述气体驱动装置的防润滑油损耗装置，所述防润滑油损耗装置设于所述第五管路上并与所述抽真空装置连通；及

用以控制所述气体驱动装置、所述抽真空装置及所述防润滑油损耗装置的控制装置，其分别与所述气体驱动装置、所述抽真空装置、所述防润滑油损耗装置连接。

2.如权利要求1所述的气体激光器气路系统，其特征在于：所述防润滑油损耗装置包括将从所述气体驱动装置流向所述抽真空装置的润滑油蒸汽冷凝收集的冷凝收集器及用以控制所述第五管路的第一控制阀；

所述冷凝收集器包括有用以冷凝分离气态润滑油的冷凝部和用以收集经所述冷凝部冷凝为液态润滑油的收集部，所述冷凝部套入所述第五管路并与所述第五管路连通；

所述第一控制阀设于所述第五管路上且位于所述冷凝收集器与所述抽真空装置之间，且该第一控制阀配设有两个连接管路，其分别为第一连接管路和第二连接管路，所述第一连接管路与所述冷凝部呈常开连接，所述第二连接管路与外界大气呈常闭连接。

3.如权利要求2所述的气体激光器气路系统，其特征在于：所述冷凝收集器还配设有用以将所述收集部收集的润滑油送回至所述气体驱动装置的返回驱动装置，且该返回驱动装置与所述控制装置电连接。

4.如权利要求2所述的气体激光器气路系统，其特征在于：所述冷凝收集器位于所述气体驱动装置的上方。

5.如权利要求3或4所述的气体激光器气路系统，其特征在于：所述防润滑油损耗装置还包括用以连通所述收集部与所述气体驱动装置两者的回流管路及用以控制所述回流管路的连通或关闭的第二控制阀，所述第二控制阀设于所述回流管路上，且所述第二控制阀与所述控制装置电连接。

6.如权利要求5所述的气体激光器气路系统，其特征在于：所述第二控制阀为单通电磁阀。

7.如权利要求1所述的气体激光器气路系统，其特征在于：所述气路系统还包括用以检测所述气体驱动装置的润滑油油位并且在该润滑油油位小于或等于预设油位值便发生报警的油位检测单元、用以检测所述气体驱动装置的润滑油是否损耗的耗油检测单元、用以检测所述谐振腔内部气压是否大于或等于预设气压值的气压检测单元，且所述油位检测单元、所述耗油检测单元、所述气压检测单元分别与所述控制装置电连接。

8.如权利要求7所述的气体激光器气路系统，其特征在于：所述耗油检测单元包括有在预设倒计时间内倒计测量需要往所述气体驱动装置添加润滑油的时间的第一倒计时器，所述第一倒计时器与所述控制装置电连接；

其中，当所述第一倒计时器的倒计时间T1＞0，则表示所述气体驱动装置尚未到达收集损耗润滑油的周期；当所述第一倒计时器的倒计时间T1=0，则表示所述气体驱动装置达到收集损耗润滑油的周期。

9.如权利要求8所述的气体激光器气路系统，其特征在于：所述耗油检测单元还包括有在预设倒计时间内倒计测量收集在所述收集部的润滑油返回至所述气体驱动装置的时间的第二倒计时器，所述第二倒计时器与所述控制装置电连接；

其中，当所述第二倒计时器的倒计时间T2＞0，则所述第一控制阀的所述第一连接管路关闭而所述第二连接管路打开、所述第二控制阀打开，收集在所述收集部的润滑油开始返回至所述气体驱动装置；当所述第二倒计时器的倒计时间T2=0，则所述第一控制阀的所述第一连接管路打开而所述第二连接管路关闭、所述第二控制阀关闭，收集在所述收集部的润滑油全部返回至所述气体驱动装置。

10.一种气体激光器，其特征在于：具有权利要求1-9任一项所述的气路系统。