[发明专利]液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法

说明书

 

技术领域

本发明涉及将液滴喷出并记录于被记录介质的液体喷射头、使用了该液体喷射头的液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法。

背景技术

近年来，将油墨滴喷出至记录纸等以记录字符、图形，或者将液体材料喷出至元件基板的表面以形成功能性薄膜的喷墨(ink jet)方式的液体喷射头得到利用。该方式将油墨、液体材料等液体从液体储罐经由供给管导引至通道，对填充于通道的液体施加压力并从连通于通道的喷嘴喷出液体。在喷出液体时，移动液体喷射头、被记录介质以记录字符、图形，或者形成既定形状的功能性薄膜。

图15是专利文献1所记载的液体喷射头101的截面示意图。图15(a)是用于使液体产生压力波的深槽105a的槽方向的截面示意图，图15(b)是与槽105正交的方向的截面示意图。液体喷射头101具有包括以下部分的层叠构造：由压电体构成的压电板104、粘接于其一侧表面的盖板108、粘接在盖板108上的流路部件111、和粘接在压电板104的另一侧表面的喷嘴板102。在压电板104，构成槽105的深槽105a与浅槽105b交替地并列而形成，深槽105a从压电板104的一侧表面贯通至另一侧表面，浅槽105b在一侧表面开口，在另一侧残留压电体材料。在深槽105a与浅槽105b之间形成侧壁106a～106c。在深槽105a的侧面形成驱动用电极116a、116c，在浅槽105b的侧面形成116b、116d。

在盖板108形成液体供给口109和液体排出口110，液体供给口109连通于深槽105a的一个端部，液体排出口110连通于该深槽105a的另一个端部。在流路部件111形成液体供给室112和液体排出室113，液体供给室112连通于液体供给口109，液体排出室113连通于液体排出口110。在喷嘴板102形成喷嘴103，喷嘴103连通于深槽105a。

该液体喷射头101如下地被驱动。从设置于流路部件111的供给用接头114供给的液体经由液体供给室112、液体供给口109而被填充于深槽105a。填充于深槽105a的液体进而经由液体排出口110、液体排出室113而从排出用接头115排出至外部。而且，若在驱动用电极116c与116b之间、以及在驱动用电极116c与116d之间施加电位差，则侧壁106b和106c厚度滑移变形，在深槽105a产生压力波并从喷嘴103喷出液滴。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011-104791号公报。

发明内容

发明要解决的问题

在专利文献1的液体喷射头101中，液滴喷出用的深槽105a与液滴非喷出用的浅槽105b交替地形成。浅槽105b在压电板104的喷嘴板102侧不开口，深槽105a在压电板104的喷嘴板102侧开口。使用在圆盘的外周部埋入了钻石等磨粒的切割刀片(dicing blade)(也称为钻石切刀(diamond cutter))形成深槽105a以及浅槽105b。因此，切割刀片的外形形状复制于槽105的两端部。通常，切割刀片使用直径为2英寸以上大小的切割刀片。例如，若使槽105a的深度为360μm，使浅槽105b的深度为320μm，在浅槽105b的底部保留40μm的压电板104，则在浅槽105b的两端部沿其长度方向形成合计约8mm的圆弧形状。浅槽105b两端部的圆弧形状为无用区域，若能够缩短其长度，则能够小型地形成液体喷射头101，还能够增加从压电体晶片的取得个数。

另外，在专利文献1的液体喷射头101中，在为液滴喷出槽的深槽105a的两端部形成的圆弧形状延伸至与液体供给口109和液体排出口110之间的盖板108重叠的位置。因此，深槽105a的实效泵长缩短，成为使喷出效率降低的原因。

本发明鉴于上述问题而完成，提供使各槽从压电板的一侧表面贯通至另一侧表面并缩小在各槽端部形成的圆弧形状的宽度，使整体小型化并且能够以较高的成品率进行制造的液体喷射头。

用于解决问题的方案

本发明的液体喷射头具备：促动器基板，排列有多个从基板的上表面贯通至下表面的细长的槽，所述槽从所述促动器基板的一侧的外周端近前朝另一侧形成，所述槽的长度方向的端部构成从所述促动器基板的下表面朝上表面上切的倾斜面，所述倾斜面与所述下表面交叉的交叉部处的交叉角在3度～80度的范围内。

另外，在所述槽的一侧的端部中，所述倾斜面的所述长度方向的宽度W和所述促动器基板的厚度D满足0.2≤(W/D)≤11的关系。