[发明专利]一种分划板的制造方法

权利要求书

1.一种分划板的制造方法，其特征在于：所述方法包括如下步骤：

步骤一，在光学元件上均匀涂覆光刻胶，并烘制成膜；

步骤二，利用绘图仪在光学元件上的光刻胶上制作镂空对位标；

步骤三，通过显微镜对准系统将带有实心对位标图案的母板与光学元件上的镂空对位标进行对位贴合，并将贴合后的光学元件进行曝光处理；

步骤四，将曝光后的光学元件置于显影液中进行光刻胶显影；

步骤五，清洗显影后的光学元件，制得分划板。

2.根据权利要求1所述的分划板的制造方法，其特征在于：

所述步骤一中的光刻胶为不透明光刻胶。

3.根据权利要求2所述的分划板的制造方法，其特征在于：

所述的烘制成膜后的光刻胶膜厚为1微米～10微米。

4.根据权利要求1所述的分划板的制造方法，其特征在于：

所述步骤二中的绘图仪为激光绘图仪。

5.根据权利要求4所述的分划板的制造方法，其特征在于：

所述步骤二中的镂空对位标为十字形、圆形或星形，所述母板上的实心对位标与所述光学元件上的镂空对位标形状相一致。

6.根据权利要求5所述的分划板的制造方法，其特征在于：

所述步骤二中在光学元件上制作多个镂空对位标，在所述步骤三中的母板上制作相应的多个实心对位标，通过显微镜对准系统将带有多个实心对位标图案的母板与光学元件上的多个镂空对位标进行一一对位贴合。

7.根据权利要求6所述的分划板的制造方法，其特征在于：

在所述光学元件和所述母板上均制作三个对位标，三个对位标中心连线后形成正三角形结构。

8.根据权利要求6所述的分划板的制造方法，其特征在于：

在所述光学元件和所述母板上均制作四个对位标，四个对位标中心顺次连线后形成正方形或长方形结构。

9.根据权利要求1所述的分划板的制造方法，其特征在于：

所述的显影液为碱性液体KOH或四甲基氢氧化铵（TMAH）。

10.根据权利要求9所述的分划板的制造方法，其特征在于：

所述步骤四中的显影液的显影温度为25℃‐35℃，显影时间3分钟～10分钟，通过浸泡或冲洗方式进行分划板的显影。