[发明专利]一种分划板的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及分划板技术领域，特别涉及一种分划板的制造方法。

背景技术

分划板一般安装在望远镜的右目镜焦平面上，如图4所示，它是一块极簿的表面刻有分划密位线的薄玻璃，由于这块薄玻璃理论上讲也参与了成像，延长了物镜的焦距，会对右目镜的长度有或多或少的影响。分划板对洁净度要求极高，任何微小的灰尘都会在观测时产生很大的黑点；同时，分划板的安装位置精度要求极高（光学玻璃圆心与图案中心偏差±0.03mm），因此，尽量不要拆卸，如果拆卸，一定要按原样复原。

中国专利文献CN102466891A中公开了一种分划板的制造方法，其包括母板制作工艺和照相复制工艺，母板制作工艺包括以下步骤：根据客户的零件设计图纸绘制计算机图纸的文件；准备母板基片；将母板基片放入显微镜对准系统；打开激光绘图仪器；设置光源强度。照相复制工艺包括以下步骤：用清洁剂清洁母板和光学零件；配制铵液；制作感光胶；光学零件放在精密夹具上并放入离心机内；烘烤玻璃零件；真空吸附模板与光学零件均匀粘合和采用动态曝光加工分划板光学零件；光学零件与母板精密复合，然后进行曝光；将光学零件放入显影液中后着色，清洗干净。在此专利文献中，光学零件与母板采用真空吸附的模式，二者没有准确的定位基准，因此，制造出来产品的精度和合格率依旧不是很高，且设备投入费用相对比较高。

中国专利文献CN101852985公开了一种基板对位标记的制作方法，其在一块基板的表面上形成有一个凹陷，在凹陷内部设置光阻层；曝光、显影，以使该光阻层中部分光阻被保留；在该部分光阻的周围设置金属层；去除该部分光阻，留下该金属层，以形成金属层围绕的对位标记。上述专利文献在基板上制作凹陷对位标记时需要多个工序，工艺复杂。

发明内容

为了解决现有技术的问题，简化工艺成本，提高产品精度和合格率，本发明提供了一种分划板的制造方法。

所述技术方案如下：

一种分划板的制造方法，所述方法包括如下步骤：

步骤一，在光学元件上均匀涂覆光刻胶，并烘制成膜；

步骤二，利用绘图仪在光学元件上的光刻胶上制作镂空对位标；

步骤三，通过显微镜对准系统将带有实心对位标图案的母板与光学元件上的镂空对位标进行对位贴合，并将贴合后的光学元件进行曝光处理；

步骤四，将曝光后的光学元件置于显影液中进行光刻胶显影；

步骤五，清洗显影后的光学元件，制得分划板。

所述步骤一中的光刻胶为不透明光刻胶。

所述的烘制成膜后的光刻胶膜厚为1微米～10微米。

所述步骤二中的绘图仪为激光绘图仪。

所述步骤二中的镂空对位标为十字形、圆形或星形，所述母板上的实心对位标与所述光学元件上的镂空对位标形状相一致。

所述步骤二中在光学元件上制作多个镂空对位标，在所述步骤三中的母板上制作相应的多个实心对位标，通过显微镜对准系统将带有多个实心对位标图案的母板与光学元件上的多个镂空对位标进行一一对位贴合。

在所述光学元件和所述母板上均制作三个对位标，三个对位标中心连线后形成正三角形结构。

在所述光学元件和所述母板上均制作四个对位标，四个对位标中心顺次连线后形成正方形或长方形结构。

所述的显影液为碱性液体KOH或四甲基氢氧化铵（TMAH）。

所述步骤四中的显影液的显影温度为25℃‐35℃，显影时间3分钟～10分钟，通过浸泡或冲洗方式进行分划板的显影。本发明所提供的技术方案带来的有益效果是：

A.本发明通过在光学元件上涂覆光刻胶层，通过激光绘图仪在光刻胶层上直接精确制作镂空对位标，工艺简单。

B.通过将母板上的实心对位标与光学元件上的镂空对位标相贴合，即可实现二者的精确对位，提高了制作效率、产品精度和合格率，产品合格率可达到90%以上。

C.由于分划板的安装位置精度要求较高，分划板上镂空对位标的绘制使分划板的安装更加简便，容易复原原样。

D.本发明采用多点对位方式，显著提高了母板与光学元件之间的对位精度。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明所提供的分划板制造方法流程图；

图2a是光刻胶上镂空对位标的一种结构图示；