[发明专利]远程控制系统及中央控制装置、客户端和信息采集装置

权利要求书

1.一种片材制造工序的远程控制系统，所述片材由清漆制成，并用于制造具有半导体元件的半导体装置，其特征在于，所述远程控制系统包括中央控制装置和与所述中央控制装置异地设置的客户端装置，

所述中央控制装置具有第一信息收发单元和信息生成单元，

所述客户端装置具有第二信息收发单元和片材制造控制单元，

所述中央控制装置的所述第一信息收发单元与所述客户端装置的第二信息收发单元通过网络远程连接，

所述中央控制装置基于用所述第一信息收发单元接收到的与光半导体元件和光半导体装置相关的第1信息以及与所述清漆相关的第2信息，通过所述信息生成单元生成与片材制造条件相关的第3信息，并用所述第一信息收发单元通过网络将所述第3信息发送给所述客户端装置，所述客户端装置用所述第二信息收发单元接收所述第3信息，并通过所述片材制造控制单元根据所述第3信息对所述片材制造工序的制造条件进行控制。

2.根据权利要求1的片材制造工序的远程控制系统，其特征在于，还包括信息采集装置，所述中央控制装置与所述信息采集装置通过网络连接，

所述信息采集装置具有第三信息收发单元，

所述信息采集装置通过所述第三信息收发单元接收所述第1信息和第2信息，并用所述第三信息收发单元通过网络将所述第1信息和所述第2信息发送给所述中央控制装置。

3.根据权利要求2的片材制造工序的远程控制系统，其特征在于，所述信息采集装置包括分别用于接受所述第1信息和所述第2信息的第1信息采集装置和第2信息采集装置。

4.根据权利要求1～3任一项的片材制造工序的远程控制系统，其特征在于，

所述中央控制装置具有存储所述第1信息的第1信息存储单元和用于存储所述第2信息的第2信息存储单元，所述信息生成单元从所述第1信息存储单元和所述第2信息存储单元读取所述第1信息和所述第2信息，所述客户端装置具有存储所述第3信息的第3信息存储单元，所述片材制造控制单元从所述第3信息存储单元读取所述第3信息。

5.根据权利要求1～3任一项的片材制造工序的远程控制系统，其特征在于，

所述客户端装置还接收包括清漆、清漆中所含粒子、清漆中所含固化性树脂、半导体元件中至少一种的批次信息，和/或单位期间半导体装置制造量信息的第4信息，并根据所述第4信息对所述片材制造工序的制造条件进行修正控制。

6.根据权利要求1～3任一项的片材制造工序的远程控制系统，其特征在于，

所述中央控制装置还基于与本次之前的片材制造条件相关的第5信息生成与本次片材制造条件相关的第3信息，并将所述与本次片材制造条件相关的第3信息发送到所述客户端装置，

所述客户端装置根据所述与本次片材制造条件相关的第3信息对所述片材制造工序的制造条件进行控制。

7.根据权利要求5的片材制造工序的远程控制系统，其特征在于，所述客户端装置具有存储所述第4信息的第4信息存储单元，所述片材制造控制单元从所述第4信息存储单元读取第4信息。

8.根据权利要求6的片材制造工序的远程控制系统，其特征在于，所述中央控制装置具有存储所述第5信息的第5信息存储单元，所述信息生成单元从所述第5信息存储单元读取第5信息。

9.根据权利要求1～3任一项的片材制造工序的远程控制系统，其特征在于，所述片材制造条件相关的第3信息进一步包括与清漆制造工序的制造条件相关的信息，所述片材制造控制单元根据所述第3信息进一步对所述清漆制造工序的制造条件进行控制。

10.一种片材制造工序远程控制系统中的中央控制装置，所述片材由清漆制成，并用于制造具有半导体元件的半导体装置，其特征在于，所述中央控制装置包括：

第一信息收发单元，用于通过网络接收与光半导体元件和光半导体装置相关的第1信息以及与所述清漆相关的第2信息，以及

信息生成单元，与所述第一信息收发单元连接，用于基于所述第1信息和第2信息生成与片材制造条件相关的第3信息，并通过所述第一信息收发单元发送所述第3信息。