[发明专利]远程控制系统及中央控制装置、客户端和信息采集装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种由清漆制成用于制造具有半导体元件的半导体装置的片材的片材制造工序的远程控制系统。

背景技术

近年来，作为光半导体装置的制造方法，研究着以下方法：制造包含粒子和固化性树脂的清漆，从该清漆制造B阶段的密封片材等的覆盖片材，用该覆盖片材覆盖光半导体元件。

例如，提出了以下方法：利用由B阶段的热固性树脂构成的荧光体层来覆盖安装于基板的发光二极管，之后使荧光体层C阶段化，由此制造LED装置(例如，参照以下专利文献1)。

专利文献1：日本特开2009-060031号公报

发明内容

发明要解决的问题

然而，在密封片材制造工厂制造包含荧光体层的密封片材，因此将制造出的密封片材出货到LED装置制造工厂。此外，在密封片材制造工厂，从LED装置制造工厂提供与发光二极管和LED装置相关的信息，基于该信息和与清漆相关的信息，生成适合于设为目的的LED装置的密封片材的制造条件。

然而，在LED装置制造工厂半导体元件和/或光半导体装置发生变动的情况下，在密封片材制造工厂需要与这些变动对应地再次制造密封片材，或者进一步将再次制造的不同种类的密封片材运送至LED装置制造工厂。因此，存在花费功夫、时间这种问题。

另一方面，还考虑在LED装置制造工厂内设置密封片材制造工厂，从而省略所述功夫、时间。

然而，LED装置制造工厂存在与清漆相关的信息不充分而无法准确地生成密封片材的制造条件这种问题。

本发明的目的在于提供一种在光半导体装置的制造工厂能够简单且可靠地制造适合于光半导体装置的覆盖片材的片材制造工序的远程控制系统以及其中央控制装置、客户端装置和信息采集装置。

用于解决问题的方案

为了达到上述目的，本发明提供一种片材制造工序的远程控制系统，所述片材由清漆制成，并用于制造具有半导体元件的半导体装置，其特征在于，

所述远程控制系统包括中央控制装置和与所述中央控制装置异地设置的客户端装置，

所述中央控制装置具有第一信息收发单元和信息生成单元，

所述客户端装置具有第二信息收发单元和片材制造控制单元，

所述中央控制装置的所述第一信息收发单元与所述客户端装置的第二信息收发单元通过网络远程连接，

所述中央控制装置基于用所述第一信息收发单元接收到的与光半导体元件和光半导体装置相关的第1信息以及与所述清漆相关的第2信息，通过所述信息生成单元生成与片材制造条件相关的第3信息，并用所述第一信息收发单元通过网络将所述第3信息发送给所述客户端装置，所述客户端装置用所述第二信息收发单元接收所述第3信息，并通过所述片材制造控制单元根据所述第3信息对所述片材制造工序的制造条件进行控制。

优选还包括信息采集装置，所述中央控制装置与所述信息采集装置通过网络连接，

所述信息采集装置具有第三信息收发单元，

所述信息采集装置通过所述第三信息收发单元接收所述第1信息和第2信息，并用所述第三信息收发单元通过网络将所述第1信息和所述第2信息发送给所述中央控制装置。

优选所述信息采集装置包括分别用于接受所述第1信息和所述第2信息的第1信息采集装置和第2信息采集装置。

优选所述中央控制装置具有存储所述第1信息的第1信息存储单元和用于存储所述第2信息的第2信息存储单元，所述信息生成单元从所述第1信息存储单元和所述第2信息存储单元读取所述第1信息和所述第2信息，所述客户端装置具有存储所述第3信息的第3信息存储单元，所述片材制造控制单元从所述第3信息存储单元读取所述第3信息。

优选所述客户端装置还接收包括清漆、清漆中所含粒子、清漆中所含固化性树脂、半导体元件中至少一种的批次信息，和/或单位期间半导体装置制造量信息的第4信息，并根据所述第4信息对所述片材制造工序的制造条件进行修正控制。

优选所述中央控制装置还基于与本次之前的片材制造条件相关的第5信息生成与本次片材制造条件相关的第3信息，并将所述与本次片材制造条件相关的第3信息发送到所述客户端装置，

所述客户端装置根据所述与本次片材制造条件相关的第3信息对所述片材制造工序的制造条件进行控制。

优选所述客户端装置具有存储所述第4信息的第4信息存储单元，所述片材制造控制单元从所述第4信息存储单元读取第4信息。