[发明专利]双层低折射率减反射膜的制备方法

权利要求书

1.一种双层低折射率减反射膜的制备方法，其特征在于：该制备方法的步骤如下：

⑴、将无水乙醇、PH=1的盐酸标准溶液、去离子水、正硅酸乙酯按摩尔比配比,混合搅拌均匀后,在稳定环境下静置陈化5-7天后,制得酸性催化条件下的SiO2溶胶；

⑵、将溶剂无水乙醇、反应物去离子水、催化剂醋酸、前驱体钛酸丁酯按摩尔比依次加入到烧杯中，密封磁力搅拌4h后混合均匀，于室温下静置老化5～7天后备用。用无水乙醇对上述TiO2溶胶按不同比例进行稀释，通过改变TiO2溶胶体的浓度，来调节TiO2薄膜覆盖在SiO2膜上的厚度；

⑶、将超白玻璃基片放入洗液中充分洗涤后，再分别用无水乙醇和去离子水经超声波充分洗涤，用氮气吹干，放入烘箱中烘干后，置于干燥器中备用；

⑷、在相对湿度环境<50％的清洁环境下,采用CHEMATDIPMASTER200浸渍提拉法在洁净的玻璃基片上先镀一层酸催化SiO2膜,于80℃烘箱中烘30min后再镀一层TiO2薄膜,提拉速度依据所需厚度在6～12inch/min间调节,最后将制备好的样品经过200℃热处理1小时后得到双层低折射率减反射膜成品。