[发明专利]微透镜阵列、光强度分布均匀化元件以及投影装置

权利要求书

1.一种微透镜阵列，具备各光轴彼此平行排列的多个微透镜，其中，

作为光射入的面的上述微透镜的入射面由树脂形成，

作为光射出的面的上述微透镜的出射面由玻璃形成。

2.根据权利要求1所述的微透镜阵列，具备：

第一微透镜阵列，具有由树脂形成的上述入射面的多个微透镜被排列成面状；

第二微透镜阵列，具有由玻璃形成的上述出射面的多个微透镜被排列成面状；以及

粘接层，粘接上述第一微透镜阵列和上述第二微透镜阵列。

3.根据权利要求1所述的微透镜阵列，具备：

第三微透镜阵列，具有由树脂形成的上述入射面的多个微透镜被排列成面状；以及

第四微透镜整列，具有由玻璃形成的上述出射面的多个微透镜被排列成面状，

上述第三微透镜阵列是通过层积于上述第四微透镜阵列的入射侧的面而形成的。

4.根据权利要求3所述的微透镜阵列，其中，

上述第三微透镜阵列由UV固化性树脂或热固化性树脂形成。

5.根据权利要求1所述的微透镜阵列，具备：

第一微透镜阵列，具有由树脂形成的上述入射面的多个微透镜被排列成面状；

第二微透镜阵列，具有由玻璃形成的上述出射面的多个微透镜被排列成面状；以及

无反射涂层，设于上述第一微透镜阵列与上述第二微透镜阵列之间。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的微透镜阵列，其中，

上述入射面被构成为使从上述入射面射入的光聚焦于上述微透镜阵列中的由上述玻璃形成的部分。

7.一种光强度分布均匀化元件，具备：

权利要求1至权利要求6中任一项所述的微透镜阵列；以及

透镜，构成为使从上述出射面射出的光成像于照射面。

8.一种投影装置，具备：

权利要求7所述的光强度分布均匀化元件；

光源，发出射入上述光强度分布均匀化元件的光；以及

微反射镜元件，设于上述照射面，并构成为使用从上述光强度分布均匀化元件射出的光来形成向投影对象投影的光像。