[发明专利]微透镜阵列、光强度分布均匀化元件以及投影装置

说明书

包含2012年12月19日提出的日本国专利申请第2012－276802号的说明书、权利要求书、附图以及摘要的所有公开通过引用被融入于此。

技术领域

本发明涉及微透镜阵列、具备该微透镜阵列的光强度分布均匀化元件以及具备光强度分布均匀化元件的投影装置。

背景技术

由大量微透镜一维或二维排列而成的微透镜阵列广为人知。例如，在日本特开平6－250002号公报中，公开了这样的微透镜阵列的制造方法。详细而言，公开了使用光刻成像以及干法刻蚀来制造微透镜阵列的方法。如使用这样的微透镜，则例如能够形成使光的强度分布均匀化的光强度分布均匀化元件。

在使用例如玻璃来形成微透镜阵列时，由于其加工精度的限制，很难使构成微透镜阵列的各微透镜的整个面形成理想的透镜形状。特别是很难在邻接的微透镜之间的边界附近形成理想的透镜形状。未形成理想的透镜形状的部分成为不能如愿的作为透镜发挥作用的无效部分。由于该无效部分的存在，将会发生光的损失。若无效部分大，则光的损失变大。

例如若使用树脂，则比使用玻璃易于高精度地形成微透镜阵列。但是，树脂与玻璃相比，例如容易因为热量而劣化。

发明内容

本发明的目的在于提供一种光损失少且不易产生劣化的微透镜阵列、具备该微透镜阵列的光强度分布均匀化元件以及具备光强度分布均匀化元件的投影装置。

本发明涉及一种具备各光轴彼此平行排列的多个微透镜的微透镜阵列，其特征在于，作为光射入的面的上述微透镜的入射面由树脂形成，作为光射出的面的上述微透镜的出射面由玻璃形成。

本发明的上述以及其他的目的、特征以及优点通过所添附的附图和以下的详细说明进一步明确。

附图说明

图1为表示第一实施方式的光强度分布均匀化元件的构成例的示意图。

图2为用于说明第一实施方式的微透镜阵列的构成例的图。

图3为表示第一实施方式的微透镜阵列的其他构成例的示意图。

图4为表示第二实施方式的投影仪的构成例的示意框图。

图5为表示第二实施方式的投影仪的光学系统的一例的示意框图。

具体实施方式

以下，使用附图对用于实施本发明的最佳实施方式加以说明。不过，虽然在以下所述的实施方式中附加了很多用于实施本发明的技术上优选的各种限定，但并非是将发明的范围限定于以下的实施方式以及图示的例子。

［第一实施方式］

参照附图，对本发明的第一实施方式加以说明。图1中示出本实施方式的光强度分布均匀化元件100的构成例的示意内容。光强度分布均匀化元件100具备微透镜阵列110和透镜组160。透镜组160包含第一透镜162、第二透镜164和第三透镜166。

微透镜阵列110包含多个微透镜112。这些微透镜112以各微透镜112的光轴平行的方式，在同一面内排列成阵列状。例如微透镜112排列成矩形的格子状。

本实施方式的微透镜阵列110通过设于入射侧的第一微透镜阵列122和设于出射侧的第二微透镜阵列126来形成。在此，第一微透镜阵列122由树脂形成。第二微透镜阵列126由玻璃形成。第一微透镜阵列122一体地形成多个微透镜排成阵列状的形状。同样，第二微透镜阵列126一体地形成多个微透镜排成阵列状的形状。第一微透镜阵列122与第二微透镜阵列126在粘接层129，例如通过透镜用粘接剂贴合。

第一微透镜阵列122中的各微透镜与第二微透镜阵列中的各微透镜彼此对应。因此，通过第一微透镜阵列122中的一个微透镜和第二微透镜阵列中的一个微透镜形成一个微透镜112。将第一微透镜阵列122中的各透镜称为第一微透镜123，将第二微透镜阵列126中的各透镜称为第二微透镜127。另外，图1中所示的○标记180表示例如由于加工精度所限，不能如设计的那样作为透镜发挥作用的无效部分的区域。即，该○标记越大，表示无效部分越大。赋予○标记180的部分以外的区域为如设计的那样作为透镜发挥作用的有效部分。