[发明专利]元件安装装置

权利要求书

1.一种元件安装装置，具备：

头部，能够将吸附于吸嘴的元件安装到基板上；

基板拍摄部，以能够相对于所述头部相对移动的方式设于所述头部，用于拍摄所述基板；及

拍摄位置校正标记，以能够由所述基板拍摄部拍摄的方式设于所述头部，

所述元件安装装置构成为，基于所述基板拍摄部对所述拍摄位置校正标记的拍摄结果来校正所述基板拍摄部相对于所述头部的相对位置偏差，

所述基板拍摄部对所述拍摄位置校正标记的拍摄结果包括所述基板拍摄部偏离正常的位置的位置偏差，

所述元件安装装置构成为，成为将基于所述位置偏差的量的所述基板拍摄部相对于所述头部的相对位置偏差反映到由所述基板拍摄部拍摄的所述基板的拍摄图像数据中的状态，而取得校正所述位置偏差后的所述基板的拍摄结果。

2.根据权利要求1所述的元件安装装置，其中，

所述基板拍摄部构成为，能够移动至所述头部中的能够拍摄到所述基板的基板识别位置，

所述元件安装装置基于所述基板拍摄部对所述拍摄位置校正标记的拍摄结果来校正所述基板拍摄部偏离所述头部中的所述基板识别位置的位置偏差。

3.根据权利要求1所述的元件安装装置，其中，

所述基板拍摄部对所述拍摄位置校正标记的拍摄结果包含：以在所述基板拍摄部相对于所述头部未产生相对位置偏差的位置来拍摄所述拍摄位置校正标记的情况为基准而在所述基板拍摄部相对于所述头部产生了相对位置偏差的位置来拍摄所述拍摄位置校正标记的情况下所掌握的位置偏差信息，

构成为，成为将基于所述位置偏差信息而得到的所述基板拍摄部相对于所述头部的相对位置偏差反映到由所述基板拍摄部拍摄的所述基板的拍摄图像数据中的状态，而取得校正所述位置偏差后的所述基板的拍摄结果。

4.根据权利要求1所述的元件安装装置，其中，

所述基板拍摄部构成为，能够沿着与被安装所述元件的所述基板的安装面大致平行的方向相对于所述头部相对移动，

所述元件安装装置构成为，基于所述基板拍摄部对所述拍摄位置校正标记的拍摄结果来校正所述基板拍摄部在与所述基板的安装面大致平行的方向上相对于所述头部的相对位置偏差。

5.根据权利要求1所述的元件安装装置，其中，

所述基板拍摄部构成为，能够沿着与被安装所述元件的所述基板的安装面大致垂直的方向相对于所述头部相对移动，

所述元件安装装置构成为，基于所述基板拍摄部对所述拍摄位置校正标记的拍摄结果来校正所述基板拍摄部在与所述基板的安装面大致垂直的方向上相对于所述头部的相对位置偏差。

6.根据权利要求1所述的元件安装装置，其中，

所述拍摄位置校正标记设于所述头部中的所述基板拍摄部能够拍摄到所述基板的基板识别位置，

构成为，所述基板拍摄部相对于所述头部相对移动到所述基板识别位置时，基于所述基板拍摄部对所述拍摄位置校正标记的拍摄结果来校正偏离所述头部中的所述基板识别位置的位置偏差。

7.根据权利要求1所述的元件安装装置，其中，

所述基板拍摄部包含能够进行光的反射和透射的光学部件，

所述拍摄位置校正标记设于所述头部中的所述基板拍摄部能够拍摄到所述基板的基板识别位置，

构成为，所述基板拍摄部相对于所述头部相对移动到所述基板识别位置时，基于经由由所述光学部件形成的第一光路而在所述基板拍摄部的视野区域内所拍摄到的所述拍摄位置校正标记的拍摄结果来校正偏离所述基板识别位置的位置偏差，并且经由由所述光学部件形成的第二光路而在所述基板拍摄部的所述视野区域内拍摄所述基板。