[发明专利]元件安装装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种元件安装装置，特别是涉及具备将元件安装到基板上的头部和用于拍摄设于头部的基板的基板拍摄部的元件安装装置。

背景技术

以往，已知具备将元件安装到基板上的头部和用于拍摄设于头部的基板的基板拍摄部的元件安装装置。这样的元件安装装置例如公开在日本特开2008－270649号公报中。

在日本特开2008－270649号公报中，公开了具备将经由吸嘴吸附的元件安装到基板上的头部和为了拍摄基板而固定地设于头部的基板识别相机（基板拍摄部）的表面安装机（元件安装装置）。该表面安装机中，固定于头部的基板识别相机通过头部的移动向基板的上方移动而拍摄附加于基板上的基板识别标记，并且基于基板识别标记的拍摄结果，在表面安装机侧掌握（识别）基板的搬运位置、角度和伸缩状态。

在如日本特开2008－270649号公报所记载的以往的表面安装机中，基板识别相机以能够相对于头部进行相对移动的方式设于头部的情况下，可知拍摄基板识别标记时，基板识别相机相对于头部向头部内的基板识别标记拍摄用的位置相对移动。但是，这种情况下，由于使基板识别相机移动的驱动轴的旋转时的惯性力、伴随驱动轴的散热的轴伸长等原因，基于驱动轴的编码器（位置检测传感器）推定的控制上的基板识别相机的位置相对于实际移动的基板识别相机的实际位置有时会发生偏移。因此，基板识别相机从基板识别标记拍摄用的正常位置发生了偏移的状态下拍摄基板识别标记的情况下，难以基于基板识别标记的拍摄结果来掌握基板的准确搬运位置，其结果是，存在不能精度良好地识别基板的问题。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而研发的，其目的之一在于提供一种元件安装装置，即使将基板拍摄部以能够相对于头部相对移动的方式设于头部而进行基板识别的情况下，也能够精度良好地进行基板识别。

为了达到上述目的，本发明的一方面的元件安装装置具备：头部，能够将吸附于吸嘴的元件安装到基板上；基板拍摄部，以能够相对于头部相对移动的方式设于头部，用于拍摄基板；及拍摄位置校正标记，以能够由基板拍摄部拍摄的方式设于头部，该元件安装装置构成为，基于基板拍摄部对拍摄位置校正标记的拍摄结果来校正基板拍摄部相对于头部的相对位置偏差。

本发明的一方面的元件安装装置中，如上所述，构成为，具备以能够相对于头部相对移动的方式设于头部的基板拍摄部和以能够由基板拍摄部拍摄的方式设于头部的拍摄位置校正标记，基于基板拍摄部对拍摄位置校正标记的拍摄结果来校正基板拍摄部相对于头部的相对位置偏差，由此，当基板拍摄部相对于头部相对移动而在基板拍摄用的规定位置拍摄基板时，能够将基于基板拍摄部对拍摄位置校正标记的拍摄结果而掌握的基板拍摄部相对于头部的相对位置偏差也反映到基板的拍摄结果中。即，由于能够得到校正（反映）了基板拍摄部相对于头部的相对位置偏差的基板的拍摄结果，所以即使在将基板拍摄部以能够相对于头部相对移动的方式设于头部而进行基板识别的情况下，也能够掌握基板的准确位置，并能够精度良好地进行基板识别。

在上述一方面的元件安装装置中，优选的是，基板拍摄部构成为，能够移动至头部中的能够拍摄到基板的基板识别位置，该元件安装装置构成为，基于基板拍摄部对拍摄位置校正标记的拍摄结果来校正基板拍摄部偏离头部中的基板识别位置的位置偏差。根据这样的结构，当基板拍摄部相对于头部相对移动而在基板识别位置拍摄基板时，能够将基于基板拍摄部对拍摄位置校正标记的拍摄结果而掌握的基板拍摄部偏离头部中的基板识别位置的位置偏差反映到基板的拍摄结果中。

在上述一方面的元件安装装置中，优选的是，基板拍摄部对拍摄位置校正标记的拍摄结果包含：以在基板拍摄部相对于头部未产生相对位置偏差的位置对拍摄位置校正标记进行拍摄的情况为基准而在基板拍摄部相对于头部产生了相对位置偏差的位置对拍摄位置校正标记进行拍摄的情况下所掌握的位置偏差信息，构成为，成为将基于位置偏差信息而得到的基板拍摄部相对于头部的相对位置偏差反映于由基板拍摄部拍摄的基板的拍摄图像数据中的状态而取得校正位置偏差后的基板的拍摄结果。根据这样的结构，能够有效利用基于相对于不产生基板拍摄部的位置偏差的设计上的基准位置在实际上产生了位置偏差的情况下的拍摄位置校正标记的拍摄结果而掌握的位置偏差信息，将基板拍摄部相对于头部的相对位置偏差的校正数据适当地反映到产生了位置偏差的情况下拍摄的基板的拍摄图像数据中，容易取得基板的拍摄结果（位置偏差校正后的拍摄图像数据）。