[发明专利]刻蚀机的窗口遮挡装置有效
| 申请号： | 201310707894.3 | 申请日： | 2013-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN104733276A | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | 徐岩 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 彭秀丽;鲍相如 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 刻蚀 窗口 遮挡 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种刻蚀机的窗口遮挡装置，其特征在于：包括安装于刻蚀机箱体（5）内壁上，并位于窗口（1）前侧的透明遮挡物（2），所述透明遮挡物（2）为耐腐蚀件。
2.根据权利要求1所述的刻蚀机的窗口遮挡装置，其特征在于：所述窗口（1）为刻蚀终点侦测器窗口。
3.根据权利要求1或2所述的刻蚀机的窗口遮挡装置，其特征在于：所述刻蚀机箱体（5）上设置有用于安装所述透明遮挡物（2）的支撑装置。
4.根据权利要求3所述的刻蚀机的窗口遮挡装置，其特征在于：所述支撑装置为耐高温绝缘件。
5.根据权利要求4所述的刻蚀机的窗口遮挡装置，其特征在于：所述支撑装置包括水平支撑件（3）以及位于所述水平支撑件两侧并互相平行设置的垂直支撑件（4）；所述水平支撑件（3）和所述垂直支撑件（4）的内侧分别设置凹槽，所述透明遮挡物（2）插入所述凹槽内。
6.根据权利要求5所述的刻蚀机的窗口遮挡装置，其特征在于：所述凹槽的宽度与所述透明遮挡物的厚度相匹配。
7.根据权利要求6所述的刻蚀机的窗口遮挡装置，其特征在于：所述凹槽宽度为0.5-2mm。
8.根据权利要求1所述的刻蚀机的窗口遮挡装置，其特征在于：所述透明遮挡物（2）为玻璃挡板。
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