[发明专利]外观检查装置以及外观检查方法

权利要求书

1.一种外观检查装置，具备：配置试样的试样台；具备光源并对上述试样照射照明光的照明装置；对用上述照明装置照明的上述试样进行摄像并输出彩色图像数据的摄像单元；以及根据上述彩色图像数据检查上述试样的外观的检查处理部，该外观检查装置的特征在于，

上述照明装置对于上述试样以不同的角度照射不同的波长范围的照明光。

2.根据权利要求1所述的外观检查装置，其特征在于，

上述照明装置具备波长选择结构，该波长选择结构具备透过不同的波长范围的光的多片透过滤光镜；以及把从上述多片透过滤光镜中选择出的透过滤光镜配置在从上述光源到上述试样的光路中的滤光镜选择装置。

3.根据权利要求1所述的外观检查装置，其特征在于，

上述照明装置具备分别发生不同的波长范围的光的多个光源；以及选择照明上述试样的光源的光源选择单元。

4.根据权利要求1所述的外观检查装置，其特征在于，

上述照明装置具备使光的波长范围变更的波长范围变更单元，进而用上述照明装置照射的光的波长范围是可变的。

5.根据权利要求1到4中的任何一项所述的外观检查装置，其特征在于，

上述照明装置的照射到上述试样的照射角分别不同。

6.根据权利要求5所述的外观检查装置，其特征在于，

从与上述摄像单元的摄像方向不同的方向向上述试样照射照明光的上述照明装置具备配置在上述试样的观察区域的上方的环状的照明光射出部。

7.根据权利要求1到6中的任何一项所述的外观检查装置，其特征在于，

上述检查处理部比较摄像得到的上述试样的上述彩色图像数据与成为上述试样的基准的彩色图像数据，进行外观检查。

8.根据权利要求1到6中的任何一项所述的外观检查装置，其特征在于，

上述检查处理部对于摄像得到的上述试样的上述彩色图像数据，通过比较上述试样的重复图案彼此之间的自相关检查进行外观检查。

9.根据权利要求7所述的外观检查装置，其特征在于，

上述检查处理部具备图像处理单元，该图像处理单元进行包含强调摄像得到的上述试样的上述彩色图像数据的特定波长范围的强调处理、抽出上述特定波长范围的抽出处理的图像处理。

10.一种外观检查方法，其特征在于，

对作为检查对象的试样，以不同的角度照射不同的波长范围的多个照明光，

用摄像单元取得被多个照明光照射的上述试样的彩色图像数据，

根据上述彩色图像数据检查上述试样的外观。

11.根据权利要求10所述的外观检查方法，其特征在于，

施行强调摄像得到的上述试样的上述彩色图像数据的特定波长范围的强调处理。