[发明专利]外观检查装置以及外观检查方法

说明书

技术领域

本发明涉及用摄像元件对半导体晶片等进行摄影而检查外观的外观检查装置以及外观检查方法。

背景技术

以往就检查半导体晶片等试样的外观，进行探测在其表面上所形成的电路等的缺陷的外观检查。

专利文献1公开了一种外观检查方法，其特征是，把具有互补颜色关系的3个点光，从互相成120度的角度的3个方向，从相对被检查面斜向并且互相不同的垂直面，以在被照明面上互相重叠的方式进行照明，使上述被检查面上的立体物的、通过上述3个点光形成的影连接地产生，调查上述影的XY坐标的连接度，判定是缺陷还是噪音。另外，在这样的外观检查装置中，为了提高检查的精度，想出各种各样的办法。

另外，专利文献2公开了一种微检查装置，包含：具有照射可干涉光的光源的微检查用照明装置、支撑形成有规定的图案的微细被加工面的基板的支撑单元、和根据来自微细被加工面的衍射光判定在基板上形成的图案是否从规定图案发生变形的判定单元。在该装置中，微检查用照明装置用照射包含有处于补色关系的2个颜色的可干涉光的光的装置构成。微检查用照明装置对于支撑单元的微细被加工面以规定的角度照射可干涉光。

专利文献1：参照日本特许第2914967号公报

专利文献2：参照日本特开2001-141657号公报

但是，在以往的外观检查装置中，有不能容易地识别关于试样的外观的详细状态、例如凹部和凸部的区别、台阶的判别等这样的问题。

发明内容

本发明鉴于上述课题而做出的，其目的是提供能够容易且详细地检测试样表面的三维构造的缺陷的外观检查装置。

为解决上述课题，本发明的外观检查装置具备：配置试样的试样台；具备光源并对上述试样照射照明光的照明装置；对用上述照明装置照明的上述试样进行摄像并输出彩色图像数据的摄像单元；以及根据上述彩色图像数据检查上述试样的外观的检查处理部，其特征在于，上述照明装置配置有多台，各照明装置对于上述试样以不同的角度照射不同的波长范围的照明光。

根据本发明，因为用多个照明装置以不同的角度对试样照射预定的不同波长范围的照明光，所以在所取得的图像数据中显现与试样的表面状态相应的颜色，能够容易地判别试样表面的详细的立体构造。

附图说明

图1是说明本发明的外观检查装置以及外观检查方法的原理的示意图。

图2是说明本发明的外观检查装置以及外观检查方法的原理的示意图。

图3是表示本发明的实施方式的外观检查装置的概略结构的示意图。

图4是表示该外观检查装置的结构的框图。

图5是表示该外观检查装置的动作的流程图。

图6是表示用摄像装置取得的图像数据以及强调处理后的图像数据的示意图。

图7是表示用摄像装置取得的图像数据以及强调处理后的图像数据的示意图。

符号说明

10：基板

11：斜面

12：损伤

13：斜面

14：突起

20：摄像装置

100：外观检查装置

110：试样台

120：显微镜

121：分光镜

130：第一照明装置

131：第一光源

132：第一波长选择结构

133：圆板构件

134：旋转驱动结构

140：彩色照相机

150：第二照明装置

151：第二光源

152：第二波长选择结构

153：圆板构件

154：旋转驱动结构

155：导光单元

156：环照明单元

160：处理装置

161：处理装置主体

162：输入装置

163：图像显示装置

S：试样

具体实施方式

首先，说明本发明的原理。在本发明的外观检查装置中，对于作为检查对象的试样以不同的角度照射不同波长范围的多个照明光，用摄像单元取得被照射了多个照明光的上述试样的彩色图像数据，根据上述彩色图像数据检查试样的外观。