[发明专利]可挠性组件基板以及其制作方法在审
申请号: | 201310718361.5 | 申请日: | 2013-12-24 |
公开(公告)号: | CN103700672A | 公开(公告)日: | 2014-04-02 |
发明(设计)人: | 傅欣敏;连詹田;谢佳升;吴宏昱;丁子钰 | 申请(专利权)人: | 华映视讯(吴江)有限公司;中华映管股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/84 |
代理公司: | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人: | 胡晶 |
地址: | 215217 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 可挠性 组件 及其 制作方法 | ||
技术领域
本发明是关于一种可挠性组件基板以及其制作方法,尤指一种阻水层设置于可挠性基板外表面的可挠性组件基板以及其制作方法。
背景技术
可挠性组件基板由于具有类似纸张的轻薄短小、可挠曲与便于携带等特性,因此可应用于各种可携式电子装置,例如:可挠性显示器、电子纸(Electronic Paper)或电子书。
于传统制作可挠性组件基板的方法中,离型层是先涂布于硬质基板上,然后于离型层上形成可挠性基板,使得于薄膜晶体管形成于可挠性基板上之后,可挠性基板可与离型层剥离,进而制成可挠性组件基板。然而,传统可挠性基板是由塑料所构成,因此相较玻璃,具有较差的阻水气能力。为了防止水气从可挠性基板进入薄膜晶体管,一般会于形成薄膜晶体管之前,于可挠性基板上覆盖防水层。藉此,后续所形成的薄膜晶体管与可挠性基板之间可有防水层。
不过,由于离型层是由具有黏性的材料所构成,且可挠性基板是整面与离型层黏合在一起,因此可挠性基板并不易从离型层上剥离,且在将可挠性基板从离型层上剥离时,形成于可挠性基板上的薄膜晶体管亦容易在剥离过程中受到应力的破坏。或者,离型层可能未完全从可挠性基板上剥离,而残留于可挠性基板的外侧。如此一来会造成可挠性组件基板的不良。
发明内容
本发明的目的在于提供一种可挠性组件基板以及其制作方法,以避免组件层在剥离过程中受到应力的破坏。
为达上述的目的,本发明提供一种可挠性组件基板,包括一可挠性基板、组件层以及一阻水区块。可挠性基板具有彼此相对的一上表面以及一下表面。组件层设置于可挠性基板的上表面上。阻水区块设置于可挠性基板的下表面上。
为达上述的目的,本发明提供一种制作可挠性组件基板的方法。首先,提供一载体,且载体包括一硬质基板以及一离型层,其中离型层覆盖于硬质基板上。然后,于离型层上形成一图案化阻水层,其中图案化阻水层包括复数个阻水区块,且任两相邻的阻水区块之间具有一间隙。接着,于图案化阻水层与离型层上覆盖一可挠性基板。随后,于可挠性基板上形成一组件层。接着,进行一切割制程,将阻水区块切割开,且将各阻水区块从离型层上剥离,以形成复数个可挠性组件基板。
本发明制作可挠性组件基板的方法是于形成可挠性基板的步骤与形成离型层的步骤之间形成图案化阻水层,使得在形成各可挠性组件基板时,阻水区块可因具有疏水特性而轻易地从离型层上剥离,进而避免组件层在从离型层上剥离的过程中受到损坏。再者,可挠性基板可保护图案化阻水层与离型层免于后续于可挠性基板上进行的制程所使用的化学溶液侵蚀,且在高温的制程中,离型层可避免失去黏性。
附图说明
图1至图9为本发明第一实施例制作可挠性组件基板的方法示意图;
图10至图13为本发明第二实施例制作可挠性组件基板的方法示意图。
【主要组件符号说明】
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的