[发明专利]阵列基板及其制造方法和触摸显示装置

说明书

技术领域

本发明涉及显示技术，具体地，涉及一种阵列基板及其制造方法和一种包括所述阵列基板的触摸显示装置。

背景技术

触摸屏按照结构可以分为：外挂式触摸屏（Add on Mode Touch Panel），覆盖表面式触摸屏（On Cell Touch Panel），以及内嵌式触摸屏（In Cell Touch Panel）。其中，内嵌式触摸屏是将触摸屏的触控电极设置在液晶显示屏的内部，可以减薄模组整体的厚度，又可以大大降低触摸屏的制作成本。触摸屏按照工作原理可以分为：电阻式触摸屏和电容式触摸屏等。其中，电容式触摸屏支持多点触控功能，拥有较高的透光率和较低的整体功耗，其接触面硬度高，使用寿命较长。

目前，现有的电容式内嵌触摸屏是通过在现有的阵列基板上直接另外增加触控扫描线和触控感应线实现的，即在阵列基板的表面制作两层相互异面相交的条状电极，这两层电极分别作为触摸屏的触控驱动线和触控感应线，在两条电极的异面相交处形成互电容。其工作过程为：在对作为触控驱动线的电极加载触控驱动信号时，检测触控感应线通过互电容耦合出的电压信号，在此过程中，当有人体接触触摸屏时，人体电场就会作用在互电容上，使互电容的电容值发生变化，进而改变触控感应线耦合出的电压信号，根据电压信号的变化，就可以确定触点位置。

在上述电容式内嵌触摸屏的结构设计中，由于需要在现有的阵列基板上新增触控扫描线和触控感应线，这样会增多制作工艺中的掩模次数，增大触摸屏的厚度，从而增加生产成本；并且，新增的触控扫描线上加载的触控驱动信号会与阵列基板中原有的显示信号之间相互干扰，影响显示画面的品质和触控的精准度。

因此，如何减少制作工艺中的掩模次数，减小触摸屏的厚度，并避免触控驱动信号与显示信号之间相互干扰，是本领域技术人员需要解决的技术问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种阵列基板及其制造方法和一种包括所述阵列基板的触摸显示装置，所述阵列基板具有简单的结构，从而使得所述触摸屏具有较小的厚度。

为了实现上述目的，作为本发明的一个方面，提供一种阵列基板，该阵列基板包括多条数据线、多条栅线和多个薄膜晶体管，多条所述数据线和多条所述栅线互相交错，以将所述阵列基板划分为多个像素单元，每个所述像素单元内都设置有所述薄膜晶体管，其中，所述阵列基板还包括多条第一触摸感测电极和多条第二触摸感测电极，所述第一触摸感测电极设置在所述薄膜晶体管的沟道的下方，且所述第一触摸感测电极同时作为阻挡背光源发出的光线的屏蔽金属层，所述第一触摸感测电极与所述第二触摸感测电极互相交错，且所述第一触摸感测电极与所述第二触摸感测电极的相交处形成电容。

优选地，相邻两条所述栅线之间设置有公共栅线以接收公共信号，所述公共栅线至少部分与所述薄膜晶体管的漏极和所述第一触摸感测电极相对应，以使得所述公共栅线与所述薄膜晶体管的漏极之间形成第一存储电容，且所述公共栅线与所述第一触摸感测电极之间形成第二存储电容。

优选地，形成所述薄膜晶体管的有源层的材料包括低温多晶硅，所述阵列基板还包括缓冲层，所述薄膜晶体管的有源层设置在所述缓冲层的上表面，所述第一触摸感测电极设置在所述缓冲层的下表面，所述第二触摸感测电极设置在所述缓冲层的上方。

优选地，相邻两条所述第一触摸感测电极之间设置有第一浮空电极。

优选地，所述第二触摸感测电极同时作为所述阵列基板的公共电极。

优选地，相邻两条所述第二触摸感测电极之间设置有第二浮空电极。

优选地，在每个所述像素单元内，所述薄膜晶体管的有源层通过第一过孔与对应的所述第一触摸感测电极相连。

优选地，所述阵列基板包括栅绝缘层、中间绝缘层、平坦化层和钝化层，所述栅绝缘层覆盖所述薄膜晶体管的有源层，所述栅线和所述公共栅线设置在所述栅绝缘层的上表面，所述中间绝缘层覆盖所述栅线和所述公共栅线，所述薄膜晶体管的源极和漏极设置在所述中间绝缘层的上表面，所述平坦化层覆盖所述薄膜晶体管的源极和漏极，所述第二触摸感测电极设置在所述平坦化层的上方，所述钝化层覆盖所述公共电极，所述阵列基板的像素电极设置在所述钝化层的上表面，所述薄膜晶体管的源极和漏极均通过贯穿所述中间绝缘层和所述栅绝缘层的第二过孔与所述薄膜晶体管的有源层相连，所述像素电极通过贯穿所述钝化层和所述平坦化层的第三过孔与所述薄膜晶体管的漏极连接。

优选地，所述第一触摸感测电极为触控感应电极，所述第二触摸感测电极为触控驱动电极。