[发明专利]集成式出射流道结构工艺喷嘴有效

专利信息
申请号: 201310719283.0 申请日: 2013-12-23
公开(公告)号: CN103736606A 公开(公告)日: 2014-04-23
发明(设计)人: 刘学平;徐强;王汉;向东;牟鹏;段广洪 申请(专利权)人: 清华大学深圳研究生院
主分类号: B05B1/04 分类号: B05B1/04;B05B1/34;G03F7/20
代理公司: 深圳市汇力通专利商标代理有限公司 44257 代理人: 李保明;张慧芳
地址: 518055 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 集成 射流 结构 工艺 喷嘴
【权利要求书】:

1.一种集成式出射流道结构工艺喷嘴,包括设有容置槽(1b)的喷嘴主体(1)以及设有出射流道(2a)的第一板体(2),第一板体(2)和喷嘴主体(1)相对设置将所述容置槽(1b)封闭形成一个腔体(3),喷嘴主体(1)设有连通所述腔体(3)的供液通道(1a),其特征在于:所述第一板体侧立设置,所述出射流道(2a)包括一条竖向出流狭缝(2a1)和复数个喷液用横向盲孔(2a2),盲孔外端连接所述腔体(3),盲孔内端连接出流狭缝(2a1),出流狭缝的下端贯穿第一板体的下端面。

2.根据权利要求1所述的集成式出射流道结构工艺喷嘴,其特征在于:从上向下,第一板体(2)的两个板面(2b、2c)在靠近下端处逐渐向内倾斜,第一板体下端处的纵截面呈倒三角形,出流狭缝(2a1)的下端设置在该倒三角形最下方的顶点(2d)处。

3.根据权利要求2所述的集成式出射流道结构工艺喷嘴,其特征在于:所述倒三角形的所述顶点(2d)处的内角不大于90度。

4.根据权利要求1所述的集成式出射流道结构工艺喷嘴,其特征在于:所述出流狭缝(2a1)下端低于喷嘴主体(1)的底面(1c),出流狭缝(2a1)下端到喷嘴主体底面的距离小于3毫米,所述盲孔(2a2)靠近所述腔体(3)的底部。

5.根据权利要求1所述的集成式出射流道结构工艺喷嘴,其特征在于:所述腔体(3)底部远离第一板体的一边设置过渡圆弧面(3a)。

6.根据权利要求1所述的集成式出射流道结构工艺喷嘴,其特征在于:所述出流狭缝(2a1)的宽度介于0.3至1.5毫米之间。

7.根据权利要求1所述的集成式出射流道结构工艺喷嘴,其特征在于:所述复数个盲孔(2a2)的深径比不大于12,所述复数个盲孔沿第一板体(2)的长边方向排列成一排或多排。

8.根据权利要求1所述的集成式出射流道结构工艺喷嘴,其特征在于:

所述喷嘴主体(1)和第一板体(2)均呈长条状,

喷嘴主体(1)用于与第一板体结合的端面(1d)在上边缘处和两个竖边缘处设置第一凹条(1e)使得在所述容置槽(1b)的口部形成法兰面(1f);

第一板体(2)用于与喷嘴主体(1)结合的第一板面(2b)在上边缘和两个竖边缘设置第一突条(2e),所述第一板面与所述法兰面密封配合且所述第一突条(2e)与所述第一凹条(1e)配合。

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