[发明专利]半导体制造设备的状态控制系统及方法

说明书

本发明公开了一种半导体制造设备的状态控制系统及方法。其中方法包括对半导体制造设备中的塔灯进行实时设置的步骤；所述对半导体制造设备中的塔灯进行实时设置的步骤具体包括对半导体制造设备的各种状态进行分类，划分出一级状态类型；对所划分出的一级状态类型的优先权级别进行设置；对所划分出的一级状态类型下的半导体制造设备状态再次进行分类，每个一级状态类型划分为多个二级状态类型；设置不同等级下的半导体制造设备状态对应的塔灯状态。所设置的塔灯状态通过半导体制造设备中的控制系统发送到塔灯，控制塔灯按当前的设备状态进行显示。增加了塔灯状态设定的灵活性，提高了工作效率。

技术领域

本发明涉及半导体自动控制领域，尤其涉及一种半导体制造设备的状态控制系统及方法。

背景技术

半导体制造业是个复杂的领域，在刻蚀机进行硅片加工的过程中，机台操作人员一般不会一刻不离的在机台旁观察整个硅片传输及工艺过程，他们需要并行的进行很多其他工作或操作其他机台。这时如果某个机台发出了某些关键信号需要及时通知机台操作人员，则需要一种简单快捷的通知方式，以便他们能第一时间针对机台给出的关键信号进行相应的处理，以提高制造效率。

塔灯的作用就是在机台需要给操作人员某些信号的时候，按预定的设置进行闪烁或者蜂鸣，方便操作人员及时发现机台发出的信号，并根据发出的信号做相应的处理。

塔灯所能显示的颜色一般分为红色、黄色、绿色、蓝色以及蜂鸣，针对四种颜色显示及蜂鸣器，需要在控制软件中硬性设置五种机台的状态来与其一一对应，比如红色设置为机台抛出报警、黄色表示工艺腔开始工艺等。对于各个颜色的显示，在设备开始运行之前即通过在代码中指定或者在配置文件中配置加以设定。

上述塔灯状态显示的设置方法能够实现针对机台的某些状态设置塔灯相应的颜色，来提示机台操作人员机台当前的状态。其缺点是灵活性不够，当在机台进行跑片的过程中，操作人员需要将塔灯的颜色指示进行变动时，只能更新代码重新编译后重新启动控制软件或者修改配置文件后重新启动控制软件来实现。

发明内容

为解决上述问题，本发明提供了一种半导体制造设备的状态控制系统及方法，其包括半导体制造设备状态显示控制子系统，及与其控制子系统所对应的控制方法，可在控制软件系统中对塔灯各颜色及蜂鸣进行灵活设置。

为实现本发明目的提供的一种半导体制造设备的状态控制系统包括设备状态显示控制子系统；所述设备状态显示控制子系统用于对半导体制造设备中的塔灯进行实时设置；所述设备状态显示控制子系统，包括第一分类模块、优先权设置模块、第二分类模块以及塔灯状态设置模块，其中：

所述第一分类模块，用于对半导体制造设备的各种状态进行分类，划分出一级状态类型；

所述优先权设置模块，用于设置所述第一分类模块划分的各个一级状态类型的优先权级别；

所述第二分类模块，用于对所述第一分类模块所划分的各个一级状态类型进行再次分类，每个一级状态类型划分为多个二级状态类型；

所述塔灯状态设置模块，用于设置不同等级下的半导体制造设备状态对应的塔灯状态。

较佳地，作为一种可实施方式，所述一级状态类型，包括ALARM、FA、JOB以及TOOLSTATE四种半导体制造设备状态类型。

较佳地，作为一种可实施方式所述四种半导体制造设备状态类型中，ALARM状态类型包括Fatal、Error、Problem、Event、Notice五种二级状态类型；

所述四种半导体制造设备状态类型中，FA状态类型包括Disable、Enable、OFFLINE_EQUIP、OFFLINE_ATTMPT、OFFLINE_HOST、ONLINE_LOCAL、ONLINE_REMOTE七种二级状态类型；