[发明专利]维修车及AMHS系统

说明书

技术领域

本发明涉及半导体集成电路物料输送机台技术领域，尤其涉及一种维修车及AMHS系统。

背景技术

随着半导体技术的发展，300mm硅片已经逐步取代200mm硅片成为主流，每盒装载硅片的硅片盒的重量也由原来的约4公斤变成约9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不仅会降低效率，还存在搬运人员人身伤害的可能。同时，半导体制造对于厂房的利用率以及生产周期的要求越来越严苛，自动化物料传输系统（Automated Material Handling Systems，简称AMHS）作为连接各个制造模块之间输送硅片的纽带的重要性也日益凸显出来。

现有的AMHS系统均采用悬挂于天花板上的多条轨道结构与轨道上行驶的OHT输送车，往返于各个机台之间（tool to tool输送模式），或往返于机台与暂存区Stocker之间（走道间系统interbay与走道内系统intrabay）。如图1所示的采用走道间、走道内的输送系统，机台走道每一边的每一台机台10安装有硅片盒堆叠部20（load port），OHT输送车70（overhead hoist transport）能抓起堆叠部20上的硅片盒30，并通过轨道结构60传送至另一台机台10的堆叠部20上。这种硅片盒30在同一走道内的输送过程称为走道内系统110，而硅片盒30在不同走道之间的输送过程则称为走道间系统100。走道内系统110的输送使用OHT输送车70，走道间系统100的输送则是先将硅片盒30以输送车70移至暂存区50中暂时储存，等到需要用到此硅片盒30时，再同样以输送车70搬送到指定机台10处。

AMHS系统的运作过程中，难免会发生输送车等装置出现故障的情况，这时，如果人工进入洁净室进行维修，破坏空间洁净度不说，还必须停止整个系统，大大降低搬送效率，也耗费了人力。

发明内容

本发明的目的在于弥补上述现有技术的不足，提供一种维修车及AMHS系统。

为实现上述目的，本发明提供一种用于AMHS系统的维修车，其包括车身、悬吊于轨道上的车轮和控制单元，其中，该维修车上还设有维修装置，该维修装置包括安装在车身上并可伸缩的机械臂、安装于机械臂前端的工具件抓手以及容纳至少一个工具件的工具箱。

进一步地，该机械臂由至少两段直臂可折叠式连接而成。

进一步地，该机械臂可转动式安装于车身上。

进一步地，该工具件抓手可转动式安装于机械臂前端。

进一步地，该工具件抓手与工具箱内的工具件具有相互配合的连接部。

进一步地，该连接部通过卡扣连接，且该连接部还具有防掉落保险装置。

进一步地，该维修车车身或维修装置上还设有摄像头。

进一步地，该摄像头设于机械臂前端。

进一步地，该工具箱固定于车身上。

进一步地，该工具箱具有向下的开口，以供工具件抓手取放工具件。

本发明还提供一种AMHS系统，其包括多个机台、轨道结构、至少一辆输送车、总控制单元以及至少一辆上述维修车。

本发明的维修车及AMHS系统，通过在小车上设置维修装置，可以及时对AMHS系统中出现的输送车等设备的故障进行维修，以保证系统的正常运行，避免人工维修带来的上述技术问题。

附图说明

为能更清楚理解本发明的目的、特点和优点，以下将结合附图对本发明的较佳实施例进行详细描述，其中：

图1是现有自动化物料传输系统的结构示意图；

图2是本发明第一实施例的维修车结构示意图。

具体实施方式

第一实施例

请参阅图2，本实施例中的用于AMHS系统的维修车1，其包括车身11、悬吊于轨道上的车轮12和控制单元（未图示）。其中，维修车1上还设有维修装置，维修装置包括安装在车身11上并可伸缩的机械臂21、安装于机械臂21前端的工具件抓手22以及工具箱23。

本实施例中，机械臂21由两段直臂可折叠式连接而成；工具箱23固定于车身11内，其向下开口并具有3个工具件槽24，可放置三个工具件25，工具件抓手22可从工具件槽24内取放工具件25，工具件抓手22通过电路连接至车身内的控制单元（未图示），控制单元驱动和控制工具件抓手22的维修动作。

本实施例中，工具件抓手22与工具件25具有相互配合的一对连接部，如卡扣连接方式，并具有保险装置，以防止工具件在维修作业时掉落。