[发明专利]一种晶体高温退火装置在审
| 申请号： | 201310737130.9 | 申请日： | 2013-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN103710760A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 季泳 | 申请（专利权）人： | 贵州蓝科睿思技术研发中心 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 谷庆红 |
| 地址： | 550004 贵州省贵阳*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶体 高温 退火 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶体高温退火装置，包括上料区域（1）、温场加热区域（2）、冷却区域（3）、下料区域（4）及置于上料区域（1）上的隔绝装置（7），其特征在于：所述温场加热区域（2）与冷却区域（2）相连，所述上料区域（1）与温场加热区域（2）一端相连，下料区域（4）与冷却区域（3）一端相连，所述温场加热区域（2）还包括依次相连的低温区域（21）、中温区域（22）、高温区域（23）及中温过渡区域（24），所述上料区域（1）、低温区域（21）、中温区域（22）、高温区域（23）、中温过渡区域（24）、冷却区域（3）及下料区域（4）均设置有轮毂（5）和连接轮毂（5）的传动履带（6）。
2.根据权利要求1所述的一种晶体高温退火装置，其特征在于：所述传送履带（6）的步进速度通过轮毂（5）进行调整。
3.根据权利要求1所述的一种晶体高温退火装置，其特征在于：所述的上料区域（1）及下料区域（4）为室温条件，低温区域（21）为室温至500℃，中温区域（22）为400℃～1600℃，高温区域（23）为800℃～2700℃，中温过渡区域（24）为400℃～1600℃，冷却区域（3）为室温～500℃。
4.根据权利要求1所述的一种晶体高温退火装置，其特征在于：所述低温区域（21）、中温区域（22）、高温区域（23）中的温度变化梯度为10℃。
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