[发明专利]一种晶体高温退火装置

说明书

技术领域

本发明属于人工晶体生产技术领域，具体是涉及一种晶体高温退火装置。

背景技术

众所周知，晶体生产环境皆是在极高的温度下进行，在晶体生产以及后续生产加工过程中极易产生应力，因此需要对晶体材料进行退火以释放应力。在传统晶体退火工艺中，退火温度控制模糊，同一加热装置实现不同温度的加热升温工作，且温度降低过程不受控制，极易造成因炉内降温速度过快而造成晶体应力开裂，且低温度降温过慢，增加退火时间，一般需要6～7天左右，增加了晶体材料加工制造周期，进而增加了生产成本。为了实现高温晶体快速退火，降低生产成本，同时现有的退火装置空间较小，感应加热温度不均匀，晶体退火效果不佳。为了解决上述问题，目前出现了各种各样的高温晶体退火装置，如申请号为200410016379.1的中国专利就公开了一种耐高温的晶体退火装置，它包括置于带有真空排气口的底盘上，并通过真空密封圈与底盘密封圈接触设有进、出水口及气压表的钟罩，中罩体内设有包含侧屏蔽筒和上、下热挡板的保温屏蔽装置，钟罩体上设有充气阀和出气阀；置于最内层侧壁的发热体采用钨丝棒制成，发热体通过电极接头紧固于钼电极板上，钼电极板由钢玉绝缘环支撑板支撑，两端紧固于水冷电极杆上，钼电极板上方发热体所包围的空间内，设有退火室。采用该技术方案，虽然能使退火晶体控制室温度高达2000℃以上，能确保温度均匀和温场稳定。但是采用该技术方案难以对大尺寸、多形状、多规格产品进行一次性退火，增加了晶体材料退火频次，造成了退火装置的极大浪费。且该装置退火制程不连续，需要重复完成升、降温，降低了生产效率，进而增加了生产成本。

发明内容

为了克服现有技术中晶体高温退火装置退火制程不连续所存在的不足，提供了一种晶体高温退火装置，通过该晶体退火装置可以实现在线连续的晶体材料快速退火。

本发明是通过如下技术方案予以实现的。

一种晶体高温退火装置，包括上料区域、温场加热区域、冷却区域、下料区域及置于上料区域上的隔绝装置，所述温场加热区域与冷却区域相连，所述上料区域与温场加热区域一端相连，下料区域与冷却区域一端相连，所述温场加热区域还包括依次相连的低温区域、中温区域、高温区域及中温过渡区域，所述上料区域、低温区域、中温区域、高温区域、中温过渡区域、冷却区域及下料区域均设置有轮毂和连接轮毂的传动履带。

所述传送履带的步进速度通过轮毂进行调整。

所述的上料区域及下料区域为室温条件，低温区域为室温至500℃，中温区域为400℃～1600℃，高温区域为800℃～2700℃，中温过渡区域为400℃～1600℃，冷却区域为室温～500℃。

所述低温区域、中温区域、高温区域中的温度变化梯度为10℃。

本发明的有益效果是：

与现有技术相比，采用本发明所述的连续晶体高温退火装置，在实现晶体材料的高温退火工艺中具有如下优点：

（1）采用本发明所述的连续晶体高温退火装置，省去了重复升、降温时间，且低温区域采取快速降温方式，缩短了退火时间，从而大大缩短了退火周期；

（2）采用本发明所述的连续晶体高温退火装置，实现了温场的恒定控制，使低、中、高温场区域以变化幅度为10℃恒定控制温度，单一加热装置控制其相应的控制温度，改善了传统退火装置需要同一加热装置不同温度变化加热方式，减少了加热装置负荷，实现了温度精确控制。

（3）采用本发明所述的连续晶体高温退火装置，增加了退火容量，能使大尺寸、多形状、多规格产品同时在线完成，不受空间制约，增加了一次退火数量，极大的减少了退火频次，提高生产效率，降低生产成本。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

图中：1-上料区域，2-温场加热区域，3-冷却区域，4-下料区域，5-轮毂，6-传动履带，7-隔绝装置，8-晶体材料，21-低温区域，22-中温区域，23-高温区域，24-中温过渡区域。

具体实施方式

下面结合附图进一步描述本发明的技术方案，但要求保护的范围并不局限于所述。