[发明专利]一种双气浮大型基板传输装置在审
| 申请号： | 201310738321.7 | 申请日： | 2013-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN104749895A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 吴福龙;周畅;阮冬 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 双气浮 大型 传输 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种双气浮大型基板传输装置，其特征在于，包括：一气浮框架，所述气浮框架位于一机架上，并可相对机架上升和下降运动，所述气浮框架上设有结构相同的第一气浮单元和第二气浮单元，所述第一气浮单元位于所述第二气浮单元的垂直上方，所述第一、第二气浮单元分别包括安装在气浮框架上的气浮块，以及位于所述气浮块上的垂向传输模块。
2.如权利要求1所述的双气浮大型基板传输装置，其特征在于，所述气浮框架通过滑轨与所述机架连接。
3.如权利要求1所述的双气浮大型基板传输装置，其特征在于，所述垂向传输模块包括气缸和真空吸盘，所述气缸带动所述真空吸盘作垂向运动。
4.如权利要求1所述的双气浮大型基板传输装置，其特征在于，还包括垂向提升单元驱动所述气浮框架相对所述机架上升和下降运动，所述垂向提升单元包括电机和提升机构，所述电机和提升机构固定于所述机架上。
5.如权利要求1所述的双气浮大型基板传输装置，其特征在于，所述第一气浮单元和第二气浮单元还分别包括支架，直线电机带动所述支架作伸出和回缩运动。
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