[发明专利]基于AMHS系统的输送车行驶控制方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体集成电路物料输送机台技术领域，尤其涉及一种基于AMHS系统的输送车行驶控制方法。

背景技术

随着半导体技术的发展，300mm硅片已经逐步取代200mm硅片成为主流，每盒装载硅片的硅片盒的重量也由原来的约4公斤变成约9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不仅会降低效率，还存在搬运人员人身伤害的可能。同时，半导体制造对于厂房的利用率以及生产周期的要求越来越严苛，自动化物料传输系统（Automated Material Handling Systems，简称AMHS）作为连接各个制造模块之间输送硅片的纽带的重要性也日益凸显出来。

现有的AMHS系统均采用悬挂于天花板上的多条轨道结构与轨道上行驶的OHT输送车，往返于各个机台之间（tool to tool输送模式），或往返于机台与暂存区Stocker之间（走道间系统interbay与走道内系统intrabay）。如图1所示的采用走道间、走道内的输送系统，机台走道每一边的每一台机台10安装有硅片盒堆叠部20（load port），OHT输送车70（overhead hoist transport）能抓起堆叠部20上的硅片盒30，并通过轨道结构60传送至另一台机台10的堆叠部20上。这种硅片盒30在同一走道内的输送过程称为走道内系统110，而硅片盒30在不同走道之间的输送过程则称为走道间系统100。走道内系统110的输送使用OHT输送车70，走道间系统100的输送则是先将硅片盒30以输送车70移至暂存区50中暂时储存，等到需要用到此硅片盒30时，再同样以输送车70搬送到指定机台10处。

一般而言，一个AMHS系统中有多辆输送车同时运行执行任务，如何根据轨道的实时交通情况，选择每辆输送车的最佳行驶路径是困扰技术人员的难题之一。

发明内容

本发明的目的在于弥补上述现有技术的不足，提供一种基于AMHS系统的输送车行驶控制方法。

为实现上述目的，本发明提供一种基于AMHS系统的输送车行驶控制方法，其包括以下步骤：

步骤S01，获取目标机台方位；

步骤S02，根据当前轨道交通情况，预算输送车当前位置到目标机台位置的总路径，并将该总路径分解为多个路段；

步骤S03，输送车出发并每经过一个路段的过程中，判断下一路段有无其他输送车；或每经过一个路段后停下，判断下一路段有无其他输送车；

步骤S04，若无，则继续按照总路径行驶下一个路段；若有，则重新计算输送车当前位置到目标机台位置的总路径，并将该重新计算的总路径分解为多个路段；

步骤S05，重复步骤S03和S04，最终到达目标机台位置。

进一步地，步骤S02和步骤S04中分解出的多个路段是轨道中每两个拐角之间的直段轨道。

本发明的基于AMHS系统的输送车行驶控制方法，每经过一个路段均考虑下一路段的实时交通情况，可以根据当时的情况即时选择最佳行驶路径，提高搬送效率的同时，可以有效避免因系统故障等原因导致轨道上两车相撞的情况发生。

附图说明

为能更清楚理解本发明的目的、特点和优点，以下将结合附图对本发明的较佳实施例进行详细描述，其中：

图1本发明输送车行驶控制方法第一实施例的流程示意图。

具体实施方式

第一实施例

请参阅图1，本实施例中的基于AMHS系统的输送车行驶控制方法，包括以下步骤：

步骤S01，获取目标机台方位；

步骤S02，根据当前轨道交通情况，预算输送车当前位置到目标机台位置的总路径，并将该总路径分解为多个路段；

步骤S03，输送车出发并每经过一个路段的过程中，判断下一路段有无其他输送车；

步骤S041，若无，则继续按照总路径行驶下一个路段；

步骤S042，若有，则重新计算输送车当前位置到目标机台位置的总路径，并将该重新计算的总路径分解为多个路段；

步骤S05，重复步骤S03和S04，到达目标机台位置。

其中，本实施例中步骤S02和步骤S04中分解出的多个路段是轨道中每两个拐角之间的直段轨道，也就是说AMHS系统中轨道结构的每一段直段就是总路径中分解出的每一段路段。

其中，本实施例的预算和计算总路径可以由AMHS系统的总控制单元完成，也可由每台输送车内的控制单元完成。

在其他实施例中，步骤S03可以是，输送车每经过一个路段后停下，判断下一路段有无其他输送车，这种方案的搬送效率可能低于第一实施例，但安全性进一步增加了。