[发明专利]石英卡夹装置及其制作方法与带该石英卡夹装置的OLED高温炉有效

专利信息
申请号: 201310739765.2 申请日: 2013-12-27
公开(公告)号: CN103743239A 公开(公告)日: 2014-04-23
发明(设计)人: 余威 申请(专利权)人: 深圳市华星光电技术有限公司
主分类号: F27B17/00 分类号: F27B17/00;H01L51/56
代理公司: 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 代理人: 林才桂
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 石英 装置 及其 制作方法 oled 高温
【权利要求书】:

1.一种石英卡夹装置,其特征在于,包括:一底座(20)、固定安装于底座(20)上的数根石英柱(30)、位于底座(20)上方的石英底板(40)及位于石英底板(40)上方且卡夹于石英柱(30)上的数层石英卡板(50);所述石英底板(40)上对应石英柱(30)设有数个圆孔(42),该圆孔(42)的直径大于所述石英柱(30)的直径,所述石英柱(30)穿过所述圆孔(42)并在圆孔(42)下方设有紧固部件(60),进而使石英底板(40)支撑于所述石英柱(30)上。

2.如权利要求1所述的石英卡夹装置,其特征在于,所述底座(20)上对应石英柱(30)设有数个固定部(22),所述石英柱(30)固定安装于该固定部(22)上。

3.如权利要求2所述的石英卡夹装置,其特征在于,所述石英底板(40)包括下底板(44)和上底板(46),所述下底板(44)与上底板(46)一体成型制成,所述圆孔(42)为贯穿于上、下底板(46、44)的通孔;所述下底板(44)抵靠于所述紧固部件(60)上。

4.如权利要求3所述的石英卡夹装置,其特征在于,所述圆孔(42)直径公式为:D=d+2h*arctan(α),其中,d为石英柱(30)的直径,h为石英底板(40)的上底板(46)距离底座(20)的高度,α为石英柱(30)固定于固定部(22)上后的最大倾斜角度。

5.一种石英卡夹装置的制作方法,其特征在于,包括:

步骤1:提供一底座(20);

步骤2:提供数个石英柱(30),将所述数个石英柱(30)安装于所述底座(20)上;

步骤3:提供石英底板(40),并在石英底板(40)上相对所述石英柱(30)设置数个圆孔(42),所述圆孔(42)的直径大于石英柱(30)的直径;

步骤4:在每一所述石英柱(30)离底座(20)一预定高度上安装一紧固部件(60),将所述石英底板(40)通过圆孔(42)套入所述石英柱(30)上并抵靠于紧固部件(60),进而将所述石英底板(40)支撑于所述石英柱(30)上;

步骤5:提供数块石英卡板(50),将所述数块石英卡板(50)分别卡夹于所述石英柱(30)的不同高度上,完成石英卡夹装置的制作。

6.如权利要求5所述的石英卡夹装置的制作方法,其特征在于,所述底座(20)上对应石英柱(30)设有数个固定部(22),所述石英柱(30)固定安装于该固定部(22)上;所述石英底板(40)包括下底板(44)和上底板(46),所述下底板(44)与上底板(46)一体成型制成,所述圆孔(42)为贯穿于上、下底板(46、44)的通孔。

7.如权利要求6所述的石英卡夹装置的制作方法,其特征在于,所述圆孔(42)直径公式为:D=d+2h*arctan(α),其中,d为石英柱(30)的直径,h为石英底板(40)的上底板(46)距离底座(20)的高度,α为石英柱(30)固定于固定部(22)上后的最大倾斜角度。

8.一种OLED高温炉,其特征在于,包括:炉体(10)及设于炉体(10)内的石英卡夹装置(12),所述石英卡夹装置(12)包括一底座(20)、固定安装于底座(20)上的数根石英柱(30)、位于底座(20)上方的石英底板(40)及位于石英底板(40)上方且卡夹于石英柱(30)上的数层石英卡板(50);所述石英底板(40)上对应石英柱(30)设有数个圆孔(42),该圆孔(42)的直径大于所述石英柱(30)的直径,所述石英柱(30)穿过所述圆孔(42)并在圆孔(42)下方设有紧固部件(60),进而使石英底板(40)支撑于所述石英柱(30)上。

9.如权利要求8所述的OLED高温炉,其特征在于,所述底座(20)上对应石英柱(30)设有数个固定部(22),所述石英柱(30)固定安装于该固定部(22)上;所述石英底板(40)包括下底板(44)和上底板(46),所述下底板(44)与上底板(46)一体成型制成,所述圆孔(42)为贯穿于上、下底板(46、44)的通孔;所述下底板(44)抵靠于所述紧固部件(60)上。

10.如权利要求9所述的OLED高温炉,其特征在于,所述圆孔(42)直径公式为:D=d+2h*arctan(α),其中,d为石英柱(30)的直径,h为石英底板(40)的上底板(46)距离底座(20)的高度,α为石英柱(30)固定于固定部(22)上后的最大倾斜角度。

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